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真空房間操作無桿氣缸

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低粉塵產(chǎn)生量 (每行程周期衹產(chǎn)生 0.1 粒
大於 0.1μm 之粉塵)
－ 低泄漏量 (少於 1.3 x 10-7 Pa•m3/sec)
－ 正弦緩衝設(shè)計，減低衝擊
－ 滑塊與缸體並無接觸，零摩擦力

機械接觸式無桿氣缸

為了防止泄漏及防塵需要，在開口部采用聚氨脂密封帶和防塵不銹鋼帶固定在兩端缸蓋上，活塞架穿過槽，把活塞與滑塊連成一體?；钊c滑塊連接在一起，帶動固定在滑塊上的執(zhí)行機構(gòu)實現(xiàn)往復(fù)運動。這種氣缸的特點是：1) 與普通氣缸相比，在同樣行程下可縮小1/2安裝位置；2) 不需設(shè)置防轉(zhuǎn)機構(gòu)；3) 適用于缸徑10～80mm，zui大行程在缸徑≥40mm時可達(dá)7m；4) 速度高，標(biāo)準(zhǔn)型可達(dá)0.1～0.5m/s；高速型可達(dá)到0.3～3.0m/s。其缺點是：1) 密封性能差，容易產(chǎn)生外泄漏。在使用三位閥時必須選用中壓式；2) 受負(fù)載力小，為了增加負(fù)載能力，必須增加導(dǎo)向機構(gòu)。

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