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南京毫特科技有限公司
主營產品： 讀數(shù)顯微鏡價格,測量投影儀,軸承測磁儀,雙色電刻機,數(shù)顯傾角儀 |
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2020-12-21 閱讀(1686)
長平晶的結構用途及使用注意事項
核心摘要：簡述長平晶的結構和用途。長平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標準量具。長平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長平品
簡述長平晶的結構和用途。
長平晶是以等傾干涉法檢定研磨面平尺平面度的標準量具。長平晶按尺寸分為210mm和310mm兩種。制造長平品的材料為K9光學玻璃。
長平晶的非工作面上有表示受檢點位置的十字刻線，對于210mm長平晶有7個十字刻線，刻線間隔為30mm，兩端十字刻線距端面為15mm;對于310mm長平晶兩端十字刻線距端面為20mm，刻線間隔為30mm，共有9個間隔，另外在對稱中點位置上增加一個十字刻線，共有11個十字刻線。
長平晶的外形圖如圖7-30所示。外形尺寸見表7-10。
長平晶的外形尺寸 表7-10 | ||||
長平晶長度 | 寬度 | 厚度 |
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新制的 | 修理后的 |
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210mm±1 | 40±1 | 25±0.5 | ≥23 |
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310mm±1 | 30±0.5 | ≥27 |
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使用長平晶時，考慮到其自重變形對測量的影響，且便于修正，應使長平晶支承在固定的位置上，并使工作面向下。一般常在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的0級量塊;或用一鋼球支承架，如圖7-31所示，其支承鋼球的尺寸差應在0.1μm以內。長平晶連同其支承一起放在被測表面上，用等傾干涉法進行平面度測量。
長平晶工作面平面度見表7-11。
表7-11 長平晶工作面的平面度 | |||
規(guī)格/mm | 平面度/μm |
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在工作長度內(在無自重變形時) | 在橫向40mm內 |
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210 | -0.3~0 | 0.1 |
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310 | -0.45~-0.15 |
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長平晶主要用于研磨面平尺平面度的檢定。
長平晶使用時注意什么問題?
長平晶使用時應注意其支承與放置問題。
由于長平晶屬細長類形狀的量具，其自重變形的狀態(tài)和大小隨支承形式及支承位置的不同而變化，一般長平晶不能像平面平品那樣直接置于被測表面上檢測。檢測時必須在規(guī)定位置上放上支承塊，一般可在工作面兩端研合兩塊尺寸差小于0.1μm的量塊，或用鋼球支承架。將長平晶工作面向下安放在被檢表面上，用等傾干涉法檢測。
由于長平晶自重的影響，因此長平晶工作時其工作面的平面度應包括長平晶本身自重變形量。長平晶各點的變形修正量按下式計算:
Fi=Δyi-△yo
式中Fi—長平晶在i點的自重變形修正量，μm;
△yi—長平晶在i點的自重變形量，μm;
△yo—長平晶在。點的自重變形量，μm。
