潔凈室檢測內(nèi)容

潔凈室檢測-光照度測試

一、測前準(zhǔn)備  

1.潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成 
2.測試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時以上。  3.潔凈室環(huán)境需清潔完成 
二、測試目的 
此檢測動作在于確認(rèn)無塵室照明系統(tǒng)是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。 
三、測試儀器
照度儀 
四、測試步驟 
1.無塵室光源至少使用100小時以上，測試前需點(diǎn)亮2小時以上。  
2.確認(rèn)測試點(diǎn)及配置圖編號。  
3.將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數(shù)值穩(wěn)定后量測10秒記錄

溫濕度檢測

一、說明 

溫濕度測量的目的是確認(rèn)室內(nèi)之溫濕度控制在范圍之內(nèi)，溫濕度對微?？刂茮]有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試（ Level 3 ）。但是因無塵室多半同時也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進(jìn)階測量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般測量只是測量溫濕度在測量點(diǎn)的實(shí)時數(shù)據(jù)（單一測數(shù)據(jù)），適用在對溫濕度要求不高的場所。進(jìn)階測量就要紀(jì)錄在測量點(diǎn)一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時間的變化情形，以確認(rèn)濕度在控制之下。進(jìn)階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。

二、測試儀器：

常見的溫濕度儀器是電子式溫度計(jì)與鏡面冷凝光學(xué)式濕度計(jì)，一般測量和進(jìn)階測量使用儀器的精度相同，溫度測量范圍是 0-100 ℃ ，準(zhǔn)確度是 ±0.2 ℃ 。濕度測量范圍是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ，準(zhǔn)確度是 ±2 ﹪ 。一般測量要求溫度之顯示值可顯示 0.1 ℃ 的變化，濕度的顯示值可顯示 1 ﹪ 的變化。進(jìn)階測量則要求溫度之顯示值可顯示 0.05 ℃ 的變化，濕的顯示值可顯示 0.1 ﹪ 的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內(nèi)者，于測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。 

三、測試程序

1.確認(rèn)空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成，并已完成測試、調(diào)整、平衡?？照{(diào)系統(tǒng)測試、調(diào)整、平衡可以平衡風(fēng)量和水量，使其達(dá)到設(shè)計(jì)要求，為溫濕控制提供正確的運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境，因此系統(tǒng)要先平衡才能測試。  

2.依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，系統(tǒng)應(yīng)在溫濕度自動控制之下，至少運(yùn)轉(zhuǎn) 24 小時以上。  

3.測試點(diǎn)數(shù)為每個房間至少量一點(diǎn)，并且每個溫濕度控制區(qū)至少量一點(diǎn)，例如每個 Dry Coil 的控制范圍要量一點(diǎn)，測量高度為 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。  

4.將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩(wěn)定后開始記錄。

靜電測試內(nèi)容：

• ◆泄漏電阻
• ◆系統(tǒng)接地電阻
• ◆體積電阻
• ◆表面電阻
• ◆系統(tǒng)電阻

依據(jù)規(guī)范：

• ◆GB50591-2010    《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》     
• ◆GB/T25915-2010  《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》
• ◆ISO 14644_2006   Cleanrooms and associated controlled environments

超純水測試

大灣在純水方面提供的測試服務(wù)范圍為：

•  ◆TOC(總有機(jī)碳)
•  ◆電阻率 
•  ◆溶解氧(DO)
•  ◆細(xì)菌測試
•  ◆溶解SiO2
•  ◆顆粒測試 （潔凈度測試）

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