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X 射線熒光法的精準(zhǔn)應(yīng)用
費(fèi)希爾 X 射線測厚儀基于X 射線熒光（XRF）原理實(shí)現(xiàn)無損測量，核心邏輯可概括為 "激發(fā) - 探測 - 分析" 三步：
射線激發(fā)：設(shè)備內(nèi)置微焦點(diǎn) X 射線管（多采用鎢陽極）發(fā)射初級 X 射線，穿透被測材料表層；
熒光產(chǎn)生：材料原子吸收能量后釋放特征熒光射線，其能量與元素種類對應(yīng)，強(qiáng)度與厚度正相關(guān)；
信號解析：通過比例計數(shù)管、硅 PIN 二極管或硅漂移探測器（SDD）捕捉熒光信號，經(jīng)數(shù)字脈沖處理器（DPP+）轉(zhuǎn)化為電信號，最終由軟件計算厚度值。
這一技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.01μm 級精度測量，且支持真空與空氣兩種測量環(huán)境，能適應(yīng)最高 400℃的樣品溫度。
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