杰魯特助力上海半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)超純水閉環(huán)回用?

半導(dǎo)體制造對水質(zhì)要求近乎苛刻，上海某芯片生產(chǎn)企業(yè)在光刻、蝕刻工序中，每日產(chǎn)生 1500 噸含氟、氨氮的酸性廢水，雖現(xiàn)有處理設(shè)施能實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放，但高昂的自來水采購成本（年支出超 2000 萬元）與廢水外排指標(biāo)限制，成為企業(yè)擴(kuò)產(chǎn)瓶頸。經(jīng)企業(yè)高層對多家環(huán)保企業(yè)進(jìn)行考察后，于 5 月 15 日委托杰魯特進(jìn)行技術(shù)升級。

檢測數(shù)據(jù)顯示，廢水含氫氟酸濃度 800mg/L、氨氮 500mg/L、pH 值 1.5，且含有微量重金屬離子。傳統(tǒng)中和沉淀法雖能去除大部分污染物，但產(chǎn)水水質(zhì)無法滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)用水電阻率＞18MΩ?cm 的要求。杰魯特技術(shù)團(tuán)隊經(jīng)小試實(shí)驗(yàn)，開發(fā)出 “分級中和 - 離子交換 - 電去離子（EDI）" 的超純水回用工藝。

工藝前端采用 “石灰乳分段中和 + 板框壓濾"，將氟離子濃度降至 10mg/L 以下；中段利用螯合樹脂選擇性吸附重金屬，配合反滲透膜系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)鹽分截留；后端通過 EDI 裝置進(jìn)一步去除溶解性離子，產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定在 18.2MΩ?cm，各項指標(biāo)達(dá)到 SEMI 國際標(biāo)準(zhǔn)。為應(yīng)對水質(zhì)波動，系統(tǒng)配置在線氟離子檢測儀、電阻率傳感器，實(shí)時聯(lián)動加藥系統(tǒng)與膜清洗程序

企業(yè)對中試數(shù)據(jù)高度認(rèn)可，5 月 22 日簽訂總承包合同。項目建成后，廢水回用率將達(dá) 90%，每年節(jié)省水費(fèi) 1800 萬元，同時減少 80% 的廢水排放量，為企業(yè)新增 20% 的產(chǎn)能空間。