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半導體晶圓清洗涂膠顯影設備漏液檢測器

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中國臺灣陽明光電式漏液檢測器

※ 高穩(wěn)定性

※ 高抗干擾力

※ 微量漏液檢出

※ 小型堅固外形

※ 耐腐蝕外殼材質

需要快速檢測出有無滲液，漏液，應用場合，及時發(fā)現(xiàn)設備故障，避免更大損失。

廣泛用于半導體濕法工藝設備，單片晶圓清洗，槽式清洗，涂膠顯影，CMP研磨設備等。

漏液傳感器1.png



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