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當(dāng)前位置:北京楚齊儀表有限責(zé)任公司>>測(cè)量計(jì)量檢測(cè)>>計(jì)量?jī)x>> BCG450BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計(jì)
產(chǎn)品型號(hào)BCG450
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地北京市
更新時(shí)間:2024-01-18 19:35:17瀏覽次數(shù):1581次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計(jì)
INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型電容式膜片真空計(jì)將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢(shì)融合在一個(gè)單個(gè)、緊湊和經(jīng)濟(jì)的可以測(cè)量 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的過程壓力和基準(zhǔn)壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計(jì)的設(shè)計(jì)旨在替代三個(gè)傳感器(熱離子、熱量增強(qiáng)型皮拉尼和真空開關(guān)),從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間。
益處
BCG450 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空測(cè)量安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
10 托以上的壓力測(cè)量不受氣體類型限制,能夠?qū)θ魏螝怏w混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲,防止過早燒毀
高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
大氣壓下的壓差測(cè)量消除了大氣壓力變化引起的不確定
易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保再現(xiàn)性
備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空和超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制
新聞
現(xiàn)有全新EtherCAT數(shù)字接口供應(yīng)!
類型 BCG450
測(cè)量范圍 5×10-10 … 1500
精度
10-8 … 50 毫巴 % of reading ±15
50 … 950 毫巴 % of reading ±5
950 … 1050 毫巴 % of reading ±2.5
可重復(fù)性
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
熱離子發(fā)射 mbar 2×10-2 (high)
(可選高/低,通過 RS232 / 現(xiàn)場(chǎng)總線) mbar 8×10-3 (low)
除氣 (1)
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓力,zui大 bar (absolute) 5
溫度
運(yùn)行(環(huán)境) °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤 °C 80
移除烘烤電子設(shè)備 °C 150
電源電壓 20 … 28
輸出信號(hào)模擬
輸出信號(hào) V 0 … 10.3
測(cè)量范圍輸出 V 0.774 … 10.3
電壓與壓強(qiáng)之間的關(guān)系 volts per decade 0.75
錯(cuò)誤信號(hào) V 0.3 / 0.5
zui小負(fù)載 k? 10
接口(數(shù)字)(2) RS232C
連接器 D-Sub, 15-pin, male
電纜長(zhǎng)度,zui大 (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 285 / 550
保護(hù)等級(jí) IP30
DeviceNet™
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 1400
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后 % of reading 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 60
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 連接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 電源電壓 11 … 25
真空計(jì)電源電壓 20 … 28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
BCG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍 mbar 1×10-9 … 1400
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后 % of reading 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值 60
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
BCG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器 D-Sub, 15-pin, male
以太網(wǎng)
以太網(wǎng)協(xié)議 protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn) ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點(diǎn)地址 Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太網(wǎng)數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
過程數(shù)據(jù) Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
(CoE) SDO requests, responses and information
以太網(wǎng)連接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度 m (ft.) ≤100 (330)
(1) 除氣期間降低精度
(2) 同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現(xiàn)場(chǎng)總線
(3) 適用于 RS232C 運(yùn)行 <30m
353-550 BCG450 規(guī)管
353-561 BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle
353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552 BCG450 規(guī)管
353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557 BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558 BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-511 BPG400 24V電源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
354-492 BCG450 傳感器
354-493 BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
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