OAI 659光刻紫外線照度計適用于半導(dǎo)體、面板制程的曝光機紫外線能量分析和測量。
過去45年來，OAI是一個UV 光及能量量測儀器的世界領(lǐng)導(dǎo)制造商，提供紫外線的檢驗，光學(xué)技術(shù)，光電，微機電等測試設(shè)備。OAI在全球使用中的精密儀器有數(shù)千臺之多，從紫外線強度、動力儀表到輻射計和太陽能光強度儀表，提供長期性能最高具可靠性和價值的廣泛儀表和儀器設(shè)備與校正服務(wù)。

OAI 659光刻紫外線照度計專門設(shè)計用于所有步進(jìn)式光刻機，包括高強度步進(jìn)式光刻機。該儀表平均可達(dá)到400個曝光讀數(shù)，具有以太網(wǎng)和USB接口，用于下載記錄測量的數(shù)據(jù)，并且強度范圍可高達(dá)7500MW/cm2。探頭的波長為365nm、400nm、420nm和436nm。

OAI 659光刻紫外線照度計

（一）儀表規(guī)格

用戶界面：觸摸屏

計算機接口：可選以太網(wǎng)和USB下載記錄測量的數(shù)據(jù)

電源：電池采用可充電的3.7V鋰離子電池并有充電保護(hù)

充電器電源：100-240 VAC

顯示設(shè)置：2個屏幕

1設(shè)置屏幕-以太網(wǎng)地址、日期和時間

2運行屏幕–波長、強度、時間、劑量、探頭溫度，探頭類型，偏差百分比，串行編號、校準(zhǔn)到期日、電池狀態(tài)、探針序列號和充電器狀態(tài)。

內(nèi)存存儲：多400個讀數(shù)

強度范圍：高達(dá)7500MW/cm2

強度分辨率：0.01mW/cm2

劑量范圍：高達(dá)1000 J/cm3

劑量分辨率：0.01mJ/cm3

時間范圍：長9999秒

時間分辨率：0.0001秒

小劑量暴露25m秒

尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸

重量：3.5磅

工作環(huán)境溫度：15–40度

符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）

(二)探頭規(guī)格

選項：非補償溫度探頭

探頭檢測器：硅光電二極管

可用波長（nm）365、400、420、436

過濾器：多層吸收/介質(zhì)

強度范圍：7500MW/cm2

合規(guī)性：ROHS2和CE（EMC和安全）