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真空設(shè)備溫度測(cè)試及腔室內(nèi)高精度測(cè)溫解決方案

閱讀:630        發(fā)布時(shí)間:2024-2-5

真空設(shè)備溫度測(cè)試及腔室內(nèi)高精度測(cè)溫解決方案


在高科技制造領(lǐng)域,如半導(dǎo)體、光電子、航天航空等行業(yè),對(duì)于真空設(shè)備溫度測(cè)試和腔室內(nèi)溫度的精準(zhǔn)測(cè)量十分重要。如何確保真空腔內(nèi)溫度的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,成為了許多企業(yè)的關(guān)注點(diǎn)。為了解決這一問題,我們引入了精密測(cè)溫NTC傳感器、真空貫通法蘭、精密多通道測(cè)溫儀和溫度采集分析軟件DAQ TEMP等**技術(shù),構(gòu)建了一個(gè)完善的腔室內(nèi)高精度測(cè)溫解決方案。

產(chǎn)品描述:

1、精密測(cè)溫NTC傳感器;

2、真空貫通法蘭;

3、精密多通道測(cè)溫儀;

4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

產(chǎn)品特點(diǎn):

- 精密測(cè)溫NTC傳感器:

采用高精度NTC傳感器,可實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體光刻設(shè)備真空系統(tǒng)的精準(zhǔn)測(cè)溫。傳感器敏感度高,響應(yīng)時(shí)間短,穩(wěn)定性優(yōu)良,確保溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性。

- 真空貫通法蘭:

采用真空貫通法蘭,確保測(cè)溫設(shè)備與真空系統(tǒng)之間的**封閉。法蘭設(shè)計(jì)合理,安裝簡(jiǎn)便,有效防止真空系統(tǒng)泄漏,提高測(cè)溫儀器的穩(wěn)定性和可靠性。

- 精密多通道測(cè)溫儀:

多通道測(cè)溫儀設(shè)計(jì)精細(xì),可同時(shí)測(cè)量多個(gè)點(diǎn)位的溫度。儀器具備高分辨率、高采樣率、高精度等優(yōu)勢(shì),可滿足對(duì)光刻設(shè)備真空系統(tǒng)多個(gè)位置溫度進(jìn)行精密監(jiān)測(cè)的需求。

- 溫度采集分析軟件DAQ TEMP

配備溫度采集分析軟件DAQ TEMP,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集、分析和記錄溫度數(shù)據(jù)。軟件界面友好,操作簡(jiǎn)便,提供詳細(xì)的溫度曲線圖、數(shù)據(jù)分析等功能,幫助用戶更好地了解和掌握真空系統(tǒng)的溫度變化。

目標(biāo)人群:

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體光刻設(shè)備制造廠商、研發(fā)機(jī)構(gòu)以及相關(guān)的光刻設(shè)備維護(hù)和技術(shù)服務(wù)人員。它們可以利用本產(chǎn)品對(duì)光刻設(shè)備真空系統(tǒng)進(jìn)行精密測(cè)溫,有效提高設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性,優(yōu)化生產(chǎn)流程,提升產(chǎn)品質(zhì)量。

通過半導(dǎo)體光刻設(shè)備真空系統(tǒng)精密測(cè)溫產(chǎn)品,您將能夠更準(zhǔn)確地掌握光刻設(shè)備真空系統(tǒng)的溫度變化,及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決溫度異常問題,提高設(shè)備的工作效率和穩(wěn)定性。選擇我們的產(chǎn)品,您將獲得高精度、高性能的測(cè)溫解決方案,為您的光刻設(shè)備帶來更大的價(jià)值。



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