定制不銹鋼真空室

Nor-Cal產(chǎn)品使用新的設(shè)備和程序來(lái)檢查真空室。每次焊接均用氦質(zhì)譜儀進(jìn)行泄漏檢查，以確保泄漏率為1x10 -9毫巴升/秒 或更少。機(jī)械檢查是通過(guò)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）完成的。我們可以根據(jù)要求向客戶(hù)提供其腔室的CMM檢查報(bào)告。如果需要真空烘烤后要求殘留氣體分析（RGA）掃描和腔室泄漏檢查的客戶(hù)，則可額外獲得我們的腔室鑒定和測(cè)試設(shè)備。測(cè)試設(shè)備包括真空泵，壓力表，RGA，石英加熱器，氮?dú)饣靥詈蜋z漏儀。通過(guò)高強(qiáng)度的紅外輻射燈實(shí)現(xiàn)腔室烘烤，這些燈被策略性地放置在整個(gè)腔室內(nèi)。真空烘烤可除去高分子量和低分子量的揮發(fā)性化合物。非水冷UHV腔室通常在150°C下烘烤至少24小時(shí)。（系統(tǒng)部件的高溫度，例如密封，腔室材料，閥門(mén)等可能會(huì)限制高烘烤溫度。）通過(guò)將相關(guān)的系統(tǒng)組件包裹在高溫玻璃纖維材料中，可以達(dá)到均勻的烘烤溫度。冷卻后，我們的RGA將提供分壓數(shù)據(jù)，確定殘留揮發(fā)性化合物的水平。典型掃描產(chǎn)生的原子質(zhì)量水平低于1x10-9毫巴原子量大于或等于44的總系統(tǒng)壓力是5×10之間-9和7×10 -10毫巴。腔室設(shè)計(jì)，使用的密封件和泵以及隨時(shí)間變化的高烘烤溫度會(huì)影響殘留的氣體成分和達(dá)到的終壓力。腔室掃描后，使用NIST可追蹤氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)腔室進(jìn)行泄漏測(cè)試，終允許泄漏率為1x10 -10 mbar l / sec?；蚋?。

定制不銹鋼真空室

注：楊清辰發(fā)布