目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>等離子清洗機(jī)>> CY-P5L-A5L等離子體清洗機(jī)13.56MHz
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 | 
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產(chǎn)品介紹:
5L等離子體清洗機(jī)13.56MHz采用純凈的石英腔體,主機(jī)頻率13.56MHz,可用于多種材料的高效清洗。清洗效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于40KHz的低頻清洗。臺式高效等離子清洗機(jī)可用于手機(jī)屏幕、儀表屏幕等精密部件的高效清洗,也可用于材料表面的親水性處理。5L等離子體清洗機(jī)13.56MHz是材料制備過程中****的理想產(chǎn)品。
   
使用范圍:
(1)表面清洗
材料表面嘗嘗會有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層,在粘合、焊接前,需要用等離子處理來得到潔凈和無氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷燈多種材料。
 
  
(2)表面活化
塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一樣是沒有極性的,因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團(tuán),增強(qiáng)表面極性,提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比,不會損害樣品,同時還可以十分均勻地處理整個表面,不會產(chǎn)生有毒煙氣,盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。
 
  
(3)表面刻蝕
在等離子刻蝕過程中,通過處理 氣體的作用,被刻蝕物會變成氣化物(例如在使用氟氣對硅刻蝕時)。處理 氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出,表面連續(xù)被新鮮的處理 氣體覆蓋。無需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來(例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料。)
 
  
(4)表面接枝與聚合
在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時,采用等離子體接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為:首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán),利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價鍵結(jié)合,后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán),以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。
 
  
 
   
產(chǎn)品特點:
1) 采用觸摸屏控制,輸出功率連續(xù)可調(diào);
 2) 可實現(xiàn)定時關(guān)機(jī);
 3) 實時真空壓力檢測;
 4) 輸出功率實時檢測,無輸出報警。  
   
主要參數(shù):
| 主要部件 | 指標(biāo)名稱 | 參數(shù)指標(biāo) | 
| 清洗倉體 | 清洗倉材質(zhì) | 高純石英 | 
| 清洗倉尺寸 | 直徑200mm;長度170mm | |
| 射 頻 電 源 | 電源特性 | 該電源為全固態(tài)射頻電源,采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件,使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 | 
| 電源優(yōu)勢 | ●可長時間正常運(yùn)行 ● 電源效率高、發(fā)熱少 | |
| 射頻功率 | 0~500W連續(xù)可調(diào)/0~1000W連續(xù)可調(diào) | |
| 信號頻率 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | ≤100W | |
| 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |
| 射頻接頭 | N型頭 | |
| 整機(jī)效率 | ≥75% | |
| 諧波分量 | ≤-50 dBc | |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |
| 氣 體 測 量 | 測量部件 | 浮子流量計 | 
| 氣體通道 | 兩通道 | |
| A通道量程 | 10~100ml | |
| B通道量程 | 16~160ml | |
| 真 空 獲 取 | 真空測量 | 數(shù)字真空計(電阻規(guī)) | 
| 真空抽取 | 雙極旋片泵 | |
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 50Hz時為:1440;60Hz時為:1720。 | |
| 抽氣速率 | 50Hz時為:240L/Min;60Hz時為:288L/Min。 | |
| 真空量程 | 0.1Pa~10000Pa | |
| 極限真空 | 0.5Pa | |
| 電機(jī)噪音 | ≤56dB | |
| 管道接口 | 進(jìn)氣口:KF16;排氣口KF16. | |
| 連接管道 | KF16真空波紋管 | |
| 真空閥門 | KF16球閥 | |
| 電機(jī)功率 | 400W | |
| 其 它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz | 
| 整機(jī)功率 | 1000W/1500W | |
| 使用溫度 | -10℃ -- 40℃ | |
| 工作真空 | ≤40Pa | |
| 整機(jī)尺寸 | 600mmX650mmX730mm | |
| 整機(jī)重量 | 80kg(含包裝) | 
等離子體產(chǎn)生原理:
在真空狀態(tài)下(約10~100Pa),給氣體施加電場,氣體在電場提供的能量下會由氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體狀態(tài)(也成物質(zhì)的第四態(tài))。其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子。等離子體表面改性技術(shù)就是利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)的反應(yīng),從而達(dá)到改變材料表面性質(zhì)的目的。
 
       
  
 
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