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技術(shù)文章

使用石英管式爐不能不知的事項

閱讀:1587          發(fā)布時間:2019-4-9

使用石英管式爐不能不知的事項石英管的使用注意事項
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPA
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向路管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥
當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)
進入石英管的氣體流量小于200sccm,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
石英管的長時間使用溫度<1000℃
對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用,若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPA,必須立刻打開泄壓閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

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