ATA-2000系列高壓放大器在壓電陶瓷方面的應(yīng)用

隨著精密工程和微細(xì)工程的迅速發(fā)展, 亞μm 和nm 級(jí)定位技術(shù)和微動(dòng)伺服技術(shù)已成為微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、超精密加工、微電子、光電子和生物工程等前沿學(xué)科的關(guān)鍵技術(shù)。

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)作為理想的nm 微位移元件, 具有體積小、位移分辨率高、頻響高、承載力大、無(wú)噪聲、不發(fā)熱等特點(diǎn), 得到了廣泛應(yīng)用。但是由于壓電陶瓷的遲滯、蠕變等效應(yīng), 給壓電陶瓷的控制帶來(lái)了困難。而驅(qū)動(dòng)放大器則是引起遲滯和蠕變現(xiàn)象主要的原因之一。因此，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)放大器已成為目前壓電陶瓷致動(dòng)器應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)之一。

    壓電陶瓷致動(dòng)器一般為堆疊結(jié)構(gòu)。在外電場(chǎng)的作用下，每個(gè)壓電陶瓷片相當(dāng)于1個(gè)平行板電容器。因此，驅(qū)動(dòng)放大器的負(fù)載壓電陶瓷致動(dòng)器為容性負(fù)載，其電容量通常達(dá)幾μF。當(dāng)存在外加電場(chǎng)時(shí)，根據(jù)逆壓電效應(yīng), 壓電陶瓷片產(chǎn)生垂直方向和水平方向的變形, 輸出位移。在已知壓電陶瓷致動(dòng)器模型的前提下, 通過(guò)一定的控制方法和控制算法, 能夠使壓電致動(dòng)器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)得到較大提高。

ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-2MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是精密位移系統(tǒng)中壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)研發(fā)測(cè)試的理想選擇。  

ATA-2000系列高壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號(hào)，為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時(shí)該系列功率放大器，設(shè)計(jì)了良好的過(guò)壓，過(guò)流，短路保護(hù)裝置，同時(shí)為了更好的為MEMS測(cè)試客戶應(yīng)用，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，方便用戶選擇對(duì)應(yīng)匹配阻抗。

ATA-2000系列高壓放大器的增益數(shù)控可調(diào)，通過(guò)0.1的步進(jìn)對(duì)于信號(hào)進(jìn)行放大，方便用戶調(diào)試。同時(shí)具有100:1的信號(hào)監(jiān)控口，方便用戶實(shí)時(shí)觀測(cè)輸出波形的變化。采用液晶顯示，操作簡(jiǎn)單易懂.