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產(chǎn)品簡介

計量檢測高精度雙頻激光干涉儀是專為計量檢測用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀性能優(yōu)異的高精度線性位移、長度檢測標(biāo)定工具。

詳細介紹

計量檢測高精度雙頻激光干涉儀

滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；

以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，

在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率高性能的同時，

將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里，

一體化設(shè)計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；

典型頻差6±1MHz，測速高達2m/s。

系統(tǒng)組成：
     LH2000激光測頭及附件
     環(huán)境補償單元
測量軟件
     測量鏡組（選配：位置度測量鏡組、直線度測量鏡組、角度測量鏡組等）
     光學(xué)調(diào)整附件
     三腳架及其他測量附件

參數(shù)指標(biāo)：

激光頭尺寸

330mm×110mm×95mm

激光頭重量

3.3kg

激光光束直徑

6mm

激光功率

>0.5mw

真空波長

632.99nm

頻差

可定制典型值6.0MHz

工作溫度范圍

+15℃~+35℃

激光穩(wěn)頻精度

±0.02ppm

線性測量范圍

40m

線性測量精度

±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補償器)

分辨率

1nm

測量速度

2m/s

工作電源

220V/50Hz

儲存溫度范圍

+15℃~+45℃