AST橢偏儀SE300

AST橢偏儀SE300橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來(lái)進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器，主要用來(lái)測(cè)量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì)。橢偏儀的主要原理是將自然光（紫外光、可見光以及紅外光）變成*偏振光后通過(guò)一定角度入射到樣品上，偏振光進(jìn)入樣品介質(zhì)后會(huì)反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi)，由于樣品介質(zhì)會(huì)對(duì)偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變，而這種改變會(huì)被橢偏儀測(cè)量，橢偏儀就是利用這個(gè)介質(zhì)對(duì)偏振光性質(zhì)改變的原理來(lái)表征介質(zhì)的性質(zhì)的。
 

SE300型號(hào)實(shí)現(xiàn)400nm到1000 nm超長(zhǎng)波段的探測(cè)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測(cè)量研究，同時(shí)可搭配自動(dòng)平臺(tái)掃描、自動(dòng)變角、微光斑探測(cè)以及平臺(tái)加熱等功能滿足不同應(yīng)用需求。 

系統(tǒng)配置:

型號(hào)：SE300BM

探測(cè)器：陣列探測(cè)器

光源：高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源

測(cè)量角度變化：手動(dòng)調(diào)節(jié)

軟件：TFProbe 3.2版本的軟件

計(jì)算機(jī)：Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器

電源：110–240V AC/50-60Hz，6A

保修：一年的整機(jī)及零備件保修

規(guī)格參數(shù)

波長(zhǎng)范圍：400nm到1000 nm

波長(zhǎng)分辨率: 1nm

光斑尺寸：1mm至5mm可變

入射角范圍：0到90度

入射角變化分辨率：5度間隔

樣品尺寸：大直徑為200mm或者150mm邊長(zhǎng)方形

基板尺寸：多可至20毫米厚

測(cè)量厚度范圍*：5nm?10μm

測(cè)量時(shí)間：約1秒/位置點(diǎn)

精度*：優(yōu)于0.25％

重復(fù)性誤差*：小于1 ?

選項(xiàng)配置:

用于反射的光度測(cè)量或透射測(cè)量；

用于測(cè)量小區(qū)域的微小光斑；

用于改變?nèi)肷浣嵌鹊淖詣?dòng)量角器；

X－Y成像平臺(tái)(X-Y模式，取代ρ-θ模式)；

加熱/致冷平臺(tái)；

樣品垂直安裝角度計(jì)；

波長(zhǎng)可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或IR范圍；

掃描單色儀的配置；

聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能，可用于對(duì)樣品的圖像進(jìn)行測(cè)量等。

相關(guān)產(chǎn)品

光譜反射分析系列：SR100、SR300、SR500等

微光斑分析系列：MSP100、MSP300、MSP500等

橢偏儀系列：SE200BA、SE200BM等

自動(dòng)掃描測(cè)試平臺(tái)：M100、M150、M200等