四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號：HARTS-8
HARTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。
四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號：HARTS-8
HARTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了新電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
四探針檢測儀 術(shù) 標 ：
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴展)；
電導率：10-5～105 s/cm；
電阻：10-5～105 Ω； |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺)； |
恒源 | 電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示； |
四探針探頭基本標 | 間距：1±0.01mm；
針間緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
四探針探頭應用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機測量大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機測量標準不確定度 | ≤5% |
計算機通訊接口 | 并口，速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。連接電腦使用時帶自動測量 能，自動選擇適合樣品測試電量程； |
標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無頻干擾；
無強光直射； |
配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭、
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