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日本三豐ULTRA QV404超高精度影像測量儀
日本三豐ULTRA QV404超高精度影像測量儀
• ULTRA QV404 是實現(xiàn)了世界優(yōu)異測量精度E1XY=(0.25+L/1000)µm 的超高精度 CNC 影像測量系統(tǒng)。
• 為了將直線度誤差控制至*，X、Y、Z3軸移動方式采用了高精度三坐標等使用的空氣軸承。
• 通過 FEM (有限要素法) 解析后的設(shè)計實現(xiàn)了本體的高剛性化。
• 作為基準的測長方式采用了分辨力為 0.01µm的光學式線性編碼器。該編碼器的線性膨脹系數(shù)為零，將溫度變化產(chǎn)生的誤差控制到*限度。
規(guī)格
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ULTRA QV 404 | |
測量范圍 (X×Y×Z) | 400×400×200mm | |
放大倍率轉(zhuǎn)換系統(tǒng) | PPT1X-2X-6X 分辨力 0.01 µm | |
長度測量裝置 | 線性編碼器 | |
影像測量方法 | CCD 照相機 | |
測量精度*1 *2 E1X, E1Y | (0.25+L/1000)µm | |
E1Z
| (1.5+2L/1000) µm (測量范圍: 200mm) (1.0+2L/1000) µm (測量范圍: 10 - 60mm)
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E2XY | (0.5+2L/1000)µm | |
照明裝置 *3 | 同軸照明/ 透射照明/ 程控環(huán)形照明 | |
工作臺玻璃尺寸 | 493×551mm | |
臺面*承重 *4 | 40kg | |
尺寸 (W×D×H) | 1172×1735×1910mm | |
重量 ( 包括機器設(shè)置臺 ) | 約 2150kg | |
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