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半導(dǎo)體檢查顯微鏡

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)MX61L

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2018-09-14 17:12:46瀏覽次數(shù):799次

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半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等,實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺(tái),能應(yīng)對(duì)大型樣本。

半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L

能對(duì)應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)(反射透射兼用)

應(yīng)對(duì)明視場(chǎng)觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)連動(dòng)的亮度光圈等,實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺(tái),能應(yīng)對(duì)大型樣本。

半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX61L

半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX61L

觀察影像實(shí)例

晶圓(明視場(chǎng)觀察)   晶圓(暗視場(chǎng)觀察)

晶圓(微分干涉觀察)        彩色濾色片(透射觀察)

 

半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格

光學(xué)系統(tǒng)

UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正)

機(jī)身

觀察方法

明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光

反射/透射

反射/透射

照明裝置

機(jī)身一體型(明視場(chǎng),暗視場(chǎng)+1選件)

照明系統(tǒng)

反射照明

100 W鹵素/100 W水銀/75 W

透射照明

纖維光導(dǎo)

對(duì)焦單元

電動(dòng)/手動(dòng)

手動(dòng)

行程

32 mm

分辨率/微調(diào)靈敏度

微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm

最大樣本高度

30 mm

物鏡轉(zhuǎn)換器

電動(dòng)型

明視場(chǎng)微分干涉6
明暗視場(chǎng)微分干涉5
明暗視場(chǎng)微分干涉6
明暗視場(chǎng)微分干涉中心輸出5

手動(dòng)式

-

載物臺(tái)

行程

14×12 英寸右下手柄:356X)×305Ymm(透射照明范圍356×284 mm

觀察筒

廣角視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)22

倒置

雙目/三目觀察筒

正像

三目觀察筒

超寬視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)26.5

倒置

三目觀察筒

正像

傾斜三目觀察筒

附件單元

DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載

外形尺寸

710W)×843D)×507Hmm(標(biāo)準(zhǔn)組合)

重量

51 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合)

 

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