原位SEM力學(xué)樣品臺(tái)

●配備高精度5軸驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)和高精度納米微壓頭；

●多種加載模式：加載-保載-卸載，循環(huán)加載等；

●自動(dòng)測(cè)量載荷-位移曲線并自動(dòng)保存；

●自動(dòng)多點(diǎn)、矩陣方式采集載荷-位移曲線；

●自動(dòng)對(duì)多條載荷-位移曲線進(jìn)行擬合處理；

●可擴(kuò)展溫控模塊（RT-1300℃，±0.01℃）、電學(xué)模塊（pA-mA， 普通模式±10 V，高壓模式±200 V）。

原位SEM力學(xué)樣品臺(tái)通過(guò)使用力學(xué)傳感器中的靜電施以載荷，用微壓頭將載荷施加到納米材料上， 同時(shí)通過(guò)電容記錄位移，可以實(shí)現(xiàn)如壓縮、彎曲、疲勞、納米壓痕和納米劃痕 等測(cè)試。根據(jù)所得的力-變形（應(yīng)力-應(yīng)變）曲線，可以定量確定這些納米結(jié)構(gòu) 的材料特性。