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X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素,具體而言,從鈉元素到鈾元素都可以利用這種技術進行檢測分析。但是對于原子序數(shù)較低的元素,空氣會對檢測結果產(chǎn)生較大影響;由低原子序數(shù)元素產(chǎn)生的熒光值通常更低,并且樣品基體中的其它元素有可能會吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。
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