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OX400-低濃度氧化鋯氧分析儀日本橫河Yokogawa
  • OX400-低濃度氧化鋯氧分析儀日本橫河Yokogawa
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貨物所在地：上海上海市

更新時間：2024-09-07 21:00:06

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低濃度氧化鋯氧分析儀日本橫河Yokogawa
橫河電機(jī)新推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術(shù)的長期經(jīng)驗積累和優(yōu)秀業(yè)績基礎(chǔ)上研發(fā)出來的。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積z利技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。這樣不僅預(yù)防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應(yīng)和長壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入

低濃度氧化鋯氧分析儀日本橫河Yokogawa?

OX400低濃度氧化鋯氧分析儀 

型號: OX400
低濃度氧化鋯氧分析儀 

產(chǎn)品信息

OX400低濃度氧化鋯氧分析儀

Regulatory Compliance

橫河電機(jī)推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術(shù)的長期經(jīng)驗積累和優(yōu)秀業(yè)績基礎(chǔ)上研發(fā)出來的。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積zhuan利技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。這樣不僅預(yù)防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應(yīng)和長壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。

  • 用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制
  • 用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測量
  • 測量氧氣濃度，防止粉塵運輸中粉塵爆炸

特性

 

使用壽命長，響應(yīng)速度快

  • 由于使用了橫河電機(jī)的新型薄膜沉積zhuan利技術(shù)，傳感器的壽命周期提高了三倍
  • 圓柱形傳感器設(shè)計便于置換被測氣體，確保高速響應(yīng)

高性能和高可靠性

  • 即使在低氧濃度下，仍具有*的精度和線性
  • 在不同應(yīng)用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

內(nèi)置功能和多種自診斷功能

  • 自帶多選擇器，自動量程，特定量程以及泵開/關(guān)功能
  • 提供多種自診斷功能，以檢測故障，如加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯誤

出眾的維護(hù)性

  • 可現(xiàn)場更換傳感器
  • 小型輕量，易于安裝

低濃度氧化鋯氧分析儀日本橫河Yokogawa?

規(guī)格

 

測量對象惰性氣體中的氧氣濃度
(易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)
測量系統(tǒng)氧化鋯系統(tǒng)
采樣方法泵式，抽提式等
樣氣條件流速: 200 ± 25ml/min(僅用于傳感器)
溫度: 0~50℃(無結(jié)露)
濕度: 無結(jié)露
壓力: 0~300PaG
大容許壓力: 30kPaG
測量量程0-10ppm O2至0-100vol% O2
輸出量程
自動:0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-*(默認(rèn))其他: 可設(shè)為0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-*，1~9的整數(shù)
固定:設(shè)為0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-*
部分:可設(shè)置下限值或上限值
模擬輸出2路輸出，
一次: 4～20mA DC(大負(fù)載電阻: 550Ω)
二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC(負(fù)載電阻: 10kΩ或更大)
接點輸出
報警輸出2點:錯誤接點，O2濃度報警接點
量程范圍輸出1點:接點輸出
多選擇器(選配件):流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出
接點輸入1點: 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF
自診斷
錯誤(故障):傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯誤，CPU錯誤，F(xiàn)AN停止
報警(警告):加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標(biāo)定錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，超限
串口通信RS-232，38400 bps
標(biāo)定方法(1)3點: 10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點: 可設(shè)定為零點氣和量程氣標(biāo)定，(3)1點，(4)空氣標(biāo)定
暖機(jī)時間20分以內(nèi)
電源100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz
功耗100～120V AC，200VA 大，220～240V AC，400 VA 大
尺寸213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm
質(zhì)量約5kg
管線連接氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
環(huán)境條件
安裝條件:室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域
環(huán)境溫度:0～40℃，無結(jié)露
環(huán)境濕度:5～85%RH
儲存溫度:-5～50℃
符合的安全標(biāo)準(zhǔn)
和EMC標(biāo)準(zhǔn)
安全標(biāo)準(zhǔn):61010-1:2001
EMC:EN 61326-1 Class A，Table 2(用于工業(yè)現(xiàn)場) EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

特性

 

重復(fù)性±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或*)
線性±2%F.S.
±3%F.S.(0~100ppm或更低)
響應(yīng)時間90%響應(yīng)
10秒內(nèi)(0~1%或更高)
30秒內(nèi)(小于0~1%)
漂移±2%F.S./周

如有需要詳情請見：OX400低濃度氧化鋯氧分析儀  

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