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Mitutoyo三豐物鏡378-751-4

 明視場(chǎng)用液晶近紫外區(qū)校正 物鏡
LCD Plan Apo NUV /
LCD Plan Apo NUV HR

 ·無(wú)限遠(yuǎn)校正
·透過(guò)液晶玻璃的明視場(chǎng)觀察及激光加工用
·超長(zhǎng)工作距離
·平場(chǎng)復(fù)消色差規(guī)格
· 按液晶玻璃厚度為1.1mm或0.7mm進(jìn)行了校正設(shè)計(jì)
···適合透過(guò)玻璃的高倍率觀察。
玻璃的厚度、材質(zhì)(折射率)可按用戶設(shè)計(jì)制作

 QV系列標(biāo)配了高性能影像對(duì)焦，并通過(guò)影像對(duì)焦保證了精度。豐富的對(duì)焦工具可根據(jù)不同
的表面性狀及測(cè)量位置選擇的焦點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)高信賴性的高度測(cè)量。高速的自動(dòng)對(duì)焦速
度，實(shí)現(xiàn)了提高了綜合的測(cè)量效率。

 根據(jù)被測(cè)工件的尺寸，選擇具有相應(yīng)測(cè)量范圍的型號(hào)。
• 新的影像獲取技術(shù)的應(yīng)用(工作臺(tái)無(wú)停頓)，大
大提高了測(cè)量效率。傳統(tǒng)的影像測(cè)量機(jī)，按照
工作臺(tái)移動(dòng)→工作臺(tái)停止→測(cè)量→工作臺(tái)移動(dòng)
的順序進(jìn)行重復(fù)操作，但這種重復(fù)一直限制了
測(cè)量效率的提高。相比之下，QV STREAM PLUS
通過(guò)引入不間斷影像測(cè)量(STREAM型) 已縮短
了測(cè)量時(shí)間，不間斷影像測(cè)量能消除由傳統(tǒng)的
加速、減速及停止循環(huán)造成的非生產(chǎn)時(shí)間。

 QV ACCEL系列采用了門(mén)移動(dòng)構(gòu)造，因?yàn)楣?br />作臺(tái)不動(dòng)所以實(shí)現(xiàn)了固定工件夾具的簡(jiǎn)單
化。為此，不僅縮短了夾具的制作工時(shí)，
而且更加適合易碎工件及輕薄工件的測(cè)量。
• 產(chǎn)品種類中新增了應(yīng)對(duì)高密度，小型化IC組
件、大型印刷電路板、金屬膜、液晶顯示
屏的測(cè)量。
• 所有型號(hào)的產(chǎn)品都具有表面、邊緣和圖案
自動(dòng)對(duì)焦的功能，增加了測(cè)量靈活性以用
于多種用途。
出廠時(shí)可增加激光自動(dòng)對(duì)焦功能。

 為了將直線度誤差控制至小，X、Y、Z3
軸移動(dòng)方式采用了高精度三坐標(biāo)等使用的
空氣軸承。
• 通過(guò)FEM(有限要素法)解析后的設(shè)計(jì)實(shí)
現(xiàn)了本體的高剛性化。
• 作為基準(zhǔn)的測(cè)長(zhǎng)方式采用了分辨力為0.01μm
的光學(xué)式線性編碼器。該編碼器的線性膨
脹系數(shù)約為零，盡可能地將溫度變化產(chǎn)生的
誤差控制到小限度。

 品 名貨號(hào)
數(shù)值孔徑
NA
工作距離
WD(mm)
(空氣換算)
焦距
f(mm)
分辨力
R(μm)
物鏡單體的焦深
±D.F.(μm)
實(shí)際視場(chǎng)(mm) 重量
ø24目鏡 (g) 1/2型
相機(jī) (縱×橫)
LCD Plan Apo NUV  Mitutoyo三豐物鏡378-751-4
LCD Plan Apo NUV 20×(t0.7) 378-890-8 0.42 16.96 10 0.7 1.7 1.2 0.24×0.32 340
LCD Plan Apo NUV 50×(t1.1) ※ 378-753-8 0.44 14.53 4 0.6 1.6 0.48 0.10×0.13 350
LCD Plan Apo NUV 50×(t0.7) 378-820-8 0.44 14.76 4 0.6 1.6 0.48 0.10×0.13 350
LCD Plan Apo NUV 100×(t1.1)※ 378-751-4 0.50 11.03 2 0.6 1.1 0.24 0.05×0.06 380
LCD Plan Apo NUV HR
LCD Plan Apo NUV HR 50×(t0.7) 378-891-6 0.65 9.76 4 0.4 0.7 0.48 0.10×0.13 500
●上述規(guī)格欄中的分辨力和物鏡單體焦深是根據(jù)基準(zhǔn)波長(zhǎng)(λ＝0.55μm)計(jì)算得出的值。