海德漢直線光柵尺工作與技術(shù)

       敞開式直線 光柵尺 2007年5月 敞開式直線光柵尺 直線光柵尺測(cè)量直線軸位置時(shí)不存在任何 敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè) 機(jī)械結(jié)構(gòu) 附加的機(jī)械傳動(dòng)元件。因此，它能消除以 量的機(jī)床和系統(tǒng)。典型應(yīng)用包括： 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵 下潛在誤差源： • 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備 尺和掃描頭，光柵尺和掃描頭間無(wú)機(jī)械 • PCB電路板組裝機(jī) 接觸。 • 由于滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的位置誤差 • 超精密機(jī)床，例如加工光學(xué)元件的金剛 • 反向誤差 石刀具車床，加工磁盤的端面車床和加 敞開式直線光柵尺的長(zhǎng)光柵直接固定在安 • 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差 工鐵氧體元件的磨床 裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光 • 高精度機(jī)床 柵尺精度。 因此，直線光柵尺已成為高精度定位和高 • 測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精 速加工*的*條件。 密測(cè)量設(shè)備 • 直接驅(qū)動(dòng) 其它樣本還有 • 帶內(nèi)置軸承角度編碼器 • 無(wú)內(nèi)置軸承角度編碼器 本樣本是以前樣本的替代版，所有以前 • 旋轉(zhuǎn)編碼器 版本均不再有效。訂購(gòu)HEIDENHAIN公 • 伺服驅(qū)動(dòng)用編碼器 司的產(chǎn)品僅以訂購(gòu)時(shí)有效的樣本為準(zhǔn)。 • NC數(shù)控機(jī)床用直線光柵尺 • 接口電子設(shè)備 有關(guān)相應(yīng)的適用標(biāo)準(zhǔn)（ISO，EN等）， • HEIDENHAIN數(shù)控系統(tǒng) 請(qǐng)見樣本中的特別標(biāo)注。 歡迎索取，或訪問(wèn) 。 目錄 概要 敞開式直線光柵尺 2 選型指南 4 技術(shù)特點(diǎn) 測(cè)量原理 測(cè)量基準(zhǔn) 6 增量測(cè)量法 7 光電掃描 8 測(cè)量精度 10 可靠 

技術(shù)信息 直線光柵尺在真空技術(shù)中的應(yīng)用 “真空”是指全空的空間，無(wú)空氣也無(wú)任何其它氣體。 根據(jù)真空的純度，通常將真空分為低真空、中等真空、高度真空或超高真空。 真空技術(shù)在許多現(xiàn)代化生產(chǎn)和科研中發(fā)揮著重要作用。真空技術(shù)是電子工業(yè)和生物技術(shù)，薄膜沉積技術(shù)，新材料開發(fā)，醫(yī)藥以及化學(xué)分 析*的技術(shù)。 真空應(yīng)用對(duì)零部件提出嚴(yán)格的要求，當(dāng)然也影響到定位應(yīng)用的編碼器。海德漢針對(duì)高真空和超高真空應(yīng)用特別設(shè)計(jì)的直線光柵尺能滿足 這些要求，措施包括： • 適應(yīng)真空應(yīng)用的PCB，黏膠和漆料，以減少氣體析出 • 通氣的空腔，縮短抽真空時(shí)間 • 耐高溫，支持較高的加熱溫度 • 無(wú)磁鐵材料，提高過(guò)程可靠性 • 超凈車間生產(chǎn)，確保高清潔程度 真空等級(jí) 真空 壓力， 高度， 平均自由行程， 時(shí)間， 當(dāng)空氣被排出封閉的空間，空氣將變得稀 單位mbar 單位km 單位m 單位s 薄，結(jié)果是壓力降低：產(chǎn)生真空。封閉的 空間中的空氣量越少，即壓力越小，真空 海拔高度 兩個(gè)氣體分子無(wú)碰撞 顆粒覆蓋表面的時(shí)間 度越高。真空度分為四級(jí)?？諝鈮毫Φ陀?1 mbar是低真空；空氣壓力低于1 bar是中 +3 –5 –5 低 10 至1 < 50 < 10 < 10 等真空。真空度低于0.001 mbar為高真空， 達(dá)到或低于0.000 000 1 mbar為超高真空。 –3 –5 – 1 –5 -2 中等 1至10 50至100 10 至10 10 至10 真空應(yīng)用 -3 -7 -1 +3 -2 +2 如果一個(gè)封閉的空間中不允許任何異物， 高 10 至10 100至500 10 至10 10 至10 沒(méi)有空氣，因此也沒(méi)有任何懸浮顆粒，就 -7 +3 必須是真空環(huán)境。有些情況需要在真空中 超高 < 10 > 500 > 10 > 100 進(jìn)行尺寸測(cè)量，例如需要檢查亞微米級(jí)的 超精細(xì)結(jié)構(gòu)或需要切分和檢查顆粒時(shí)。直 線光柵尺和角度編碼器在真空中的常見應(yīng) 用包括電子顯微鏡、機(jī)械手、多路執(zhí)行器、 XY工作臺(tái)、電子束顯微鏡，半導(dǎo)體工業(yè)的 圓晶檢查或測(cè)量同步加速器輻射的光譜儀 軸。 2015年5月 真空應(yīng)用對(duì)編碼器的要求 通常在低真空和中等真空應(yīng)用中，可用海 德漢的標(biāo)準(zhǔn)編碼器，工作溫度有一定限 制。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要 滿足一些特殊要求。 少量氣體逸出 真空應(yīng)用中，必須盡可能減少氣體的逸 出，否則真空室的壓力將顯著升高。超高 真空應(yīng)用中，所有部件都十分關(guān)鍵。例如， 部分塑料件的揮發(fā)性溶劑會(huì)逸出。印刷電 路板、黏膠或漆料中都含這類塑料，在超 真空應(yīng)用中，必須嚴(yán)格避免這些材料。海 德漢采用的PCB和黏膠能滿足真空應(yīng)用要 求。常用的漆料也用滿足真空應(yīng)用要求的 材料取代。在超真空應(yīng)用中，必須盡可能 壓縮零部件數(shù)量—接口和脈沖整形電子電 路必須在真空室外。為此，海德漢提供配 外部接口硬件的編碼器。對(duì)于高真空應(yīng)用， 方法之一是將接口硬件安排在真空室內(nèi)。 空腔的正確通風(fēng) 要產(chǎn)生真空，必須排出封閉空間內(nèi)的空氣。 獲得所需低壓的時(shí)間被稱為“抽真空時(shí) 間”，該時(shí)間應(yīng)盡可能短，以使真空系統(tǒng) 盡快開始工作。如果空腔中的空氣能很快 逸出，就能縮短抽真空的時(shí)間。為此，海 德漢編碼器外殼增加了空氣孔數(shù)量，打開 盲孔的螺紋孔，通氣孔直接打通到空腔 中。 無(wú)鐵磁材料 根據(jù)真空腔中進(jìn)行的操作，編碼器中的部 分材料可能不允許使用。鐵磁材料不允許 用在檢查微電子電路的電子束顯微鏡中。 為此，海德漢真空應(yīng)用的編碼器無(wú)磁性材 料。 耐高溫 為縮短抽真空時(shí)間和獲得較高真空度，真 空腔需要加熱到100 °C甚至更高的溫度。

敞開式直線光柵尺 2016年4月 敞開式直線光柵尺 直線光柵尺測(cè)量直線軸位置，測(cè)量期間沒(méi) 敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于超高測(cè)量精度 機(jī)械結(jié)構(gòu) 有任何其它機(jī)械傳動(dòng)件。因此，它能消除 的機(jī)器和系統(tǒng)。典型應(yīng)用包括： 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺 以下潛在誤差源： • 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備 帶和讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接 • 滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位誤差 • PCB電路板組裝機(jī) 觸。 • 反向誤差 • 超精密機(jī)床，例如加工光學(xué)器件的金剛 敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝 • 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差 石刀具，加工磁盤的端面車床和加工鐵 面上。因此，安裝面的平面度是高精度直 氧體元件的磨床 線光柵尺應(yīng)用的基礎(chǔ)條件。 因此，直線光柵尺是高精度定位和高速加 • 高精度機(jī)床 工機(jī)床*的基礎(chǔ)技術(shù)手段。 • 測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它精 密測(cè)量設(shè)備 • 直驅(qū)電機(jī) 以下信息 • 內(nèi)置軸承角度編碼器 • 無(wú)內(nèi)置軸承角度編碼器 本樣本是以前樣本的替代版，所有 • 模塊式磁柵角度編碼器 以前版本均不再有效。 • 旋轉(zhuǎn)編碼器 訂購(gòu)海德漢公司的產(chǎn)品僅以訂購(gòu)時(shí) • 伺服驅(qū)動(dòng)編碼器 海德漢編碼器接口樣本，ID 1078628- 有效的樣本為準(zhǔn)。 • NC數(shù)控機(jī)床用直線光柵尺 xx，提供全部可用接口的全面說(shuō)明和一 • 接口電子電路 般電氣信息。 本產(chǎn)品遵循的標(biāo)準(zhǔn)（ISO，EN等）， • 海德漢數(shù)控系統(tǒng) 請(qǐng)見樣本中的標(biāo)注。 歡迎索取，或訪問(wèn) 。 目錄 概要 敞開式直線光柵尺 2 選型指南 ?4 技術(shù)特點(diǎn) 測(cè)量原理 8 可靠性 12 測(cè)量精度 14 機(jī)械結(jié)構(gòu)類型和裝配 17 一般機(jī)械信息 21 技術(shù)參數(shù) 式位置測(cè)量 LIC?4113，LIC?4193 

產(chǎn)品圖：

      LB382C光柵尺的安裝說(shuō)明 目錄 光柵尺的組成 安裝附件 安裝步驟 注意事項(xiàng) 變換電纜的出線方向 參考點(diǎn)的位置與設(shè)定 外形尺寸（標(biāo)準(zhǔn)型） 外形尺寸（鏡像型） 安裝公差---要特別注意 安裝外殼 安裝外殼 安裝外殼 安裝外殼 安裝導(dǎo)軌鋼帶 安裝標(biāo)尺鋼帶 穿標(biāo)尺鋼帶 預(yù)緊鋼帶 固定鋼帶及貼標(biāo)簽 穿密封條 固定密封條 安裝讀數(shù)頭 固定密封條 （端蓋E1) 檢查接地電阻---不能省缺 拉緊鋼帶---計(jì)算拉緊量---重要! 拉緊鋼帶 ---固定鋼帶 線性補(bǔ)償---激光干涉儀檢測(cè) 光柵尺的防護(hù)---DA300 技術(shù)參數(shù) 電氣連接圖---LB302 輸出信號(hào)---LB302 電氣連接圖---LB382C 輸出信號(hào)----LB382C Chen dong LB382C光柵尺的安裝說(shuō)明 

直線光柵尺 用于NC數(shù)控機(jī)床 2007年6月 更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn) 或來(lái)函索取。 產(chǎn)品樣本： • 敞開式直線光柵尺 • 內(nèi)置軸承角度編碼器 • 無(wú)內(nèi)置軸承角度編碼器 • 旋轉(zhuǎn)編碼器 • HEIDENHAIN后續(xù)電子設(shè)備 • HEIDENHAIN數(shù)控系統(tǒng) • 機(jī)床檢測(cè)和驗(yàn)收測(cè)試測(cè)量系統(tǒng) 本樣本是以前樣本的替代版，所有以前 版本均不再有效。訂購(gòu)HEIDENHAIN公 技術(shù)信息樣本： 司的產(chǎn)品僅以訂購(gòu)時(shí)有效的樣本為準(zhǔn)。 • 進(jìn)給軸精度 • 單場(chǎng)掃描封閉式直線光柵尺 有關(guān)相應(yīng)的適用標(biāo)準(zhǔn)（ISO，EN等）， DIADUR和AURODUR是德國(guó)Traunreut處 • EnDat 2.2－位置編碼器雙向數(shù)字接口 請(qǐng)見樣本中的特別標(biāo)注。 的DR. JOHANNES HEIDENHAIN公司的注 • 伺服驅(qū)動(dòng)用編碼器 冊(cè)商標(biāo)。 2 目錄 概要 直線光柵尺 4 選型指南 6 技術(shù)特性和安裝信息 測(cè)量原理 測(cè)量基準(zhǔn) 8 測(cè)量法 8 增量測(cè)量法 9 光電掃描 10 測(cè)量精度 12 機(jī)械結(jié)構(gòu)類型和安裝指南 14 一般機(jī)械信息 18 技術(shù)參數(shù) 定位用途的 直線光柵尺 系列或型號(hào) 推薦測(cè)量步距 用于位置測(cè)量 至0.1 μm LC 400系列 20 LC 100系列 22 高重復(fù)性的增量直線測(cè)量 至0.1 μm LF 481 24 LF 183 26 用于 

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