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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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等離子體加工期間的電弧放電可造成靶和腔室損壞，因而導(dǎo)致基材受損并形成顆粒。隨著特征尺寸的下降，微電子設(shè)備越來越容易出現(xiàn)電弧引發(fā)的損壞。電弧放電可出現(xiàn)在任何等離子輔助過程中，例如電離物理氣相沉積 （iPVD）、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 （PECVD） 和蝕刻。
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例如電離物理氣相沉積 (iPVD) 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 和蝕刻 INFICON Sion 弧檢測(cè)器可提供至關(guān)重要的*道防線 Sion 能夠快速檢測(cè)到微弧并在明顯損傷或廢料出現(xiàn)之前對(duì)其作出反應(yīng) 系統(tǒng)可對(duì)等離子微電弧事件進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)和分析
公司經(jīng)營(yíng)品牌：GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E+E，美國華瑞RAE,梅思安MSA，德爾格Draeger，德國IKA，美國奧豪斯，美國哈希hach,安捷倫等品牌，派克Parker,阿托Atos,力士樂Rexroth,哈威Hawe，德國KK,英國Time Electronics,美國斯坦福,英國密其，德國LR-Cal,德國Schleich,澳大利TPS,德國卡爾德意志等進(jìn)口品牌