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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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INFICON 射頻傳感技術(shù)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體過(guò)程工具提供高度準(zhǔn)確、寬頻、頻率判別式射頻測(cè)量。通過(guò)此射頻數(shù)據(jù)，可以詳細(xì)了解過(guò)程開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程問(wèn)題中的實(shí)際等離子狀態(tài)，大幅降低過(guò)程變異性。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
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通過(guò)測(cè)量基本和諧波電壓和電流(包括相角測(cè)量)并對(duì)其進(jìn)行分析來(lái)預(yù)測(cè)晶片計(jì)量結(jié)果,這樣工程師就能控制所處理的每個(gè)晶片的實(shí)際晶片結(jié)果 現(xiàn)在強(qiáng)大算法性能與射頻傳感技術(shù)*結(jié)合,可以基于實(shí)時(shí)測(cè)量以及易于理解的用戶(hù)界面所提供的相關(guān)性分析,顯著提高半導(dǎo)過(guò)程的可重復(fù)性 穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性
公司經(jīng)營(yíng)品牌：GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E+E，美國(guó)華瑞RAE,梅思安MSA，德?tīng)柛馜raeger，德國(guó)IKA，美國(guó)奧豪斯，美國(guó)哈希hach,安捷倫等品牌，派克Parker,阿托Atos,力士樂(lè)Rexroth,哈威Hawe，德國(guó)KK,英國(guó)Time Electronics,美國(guó)斯坦福,英國(guó)密其，德國(guó)LR-Cal,德國(guó)Schleich,澳大利TPS,德國(guó)卡爾德意志等進(jìn)口品牌