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ADC100 系統(tǒng)連接至 DC 發(fā)電機，以實時檢測等離子體電弧。 這樣就能中斷晶圓過程，并將潛在硬件或產品損壞通知工程師。
產品簡介
詳細介紹
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FabGuard 傳感器集成和分析系統(tǒng)可將軟件集成到工具 每個通道 250 kHz 的數(shù)據(jù)采集頻率 將定制電纜連接到大部分 DC 發(fā)電機 使用預定義分析工具快速檢測電弧 終點檢測功能 應用支持
公司經(jīng)營品牌：GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E+E，美國華瑞RAE,梅思安MSA，德爾格Draeger，德國IKA，美國奧豪斯，美國哈希hach,安捷倫等品牌，派克Parker,阿托Atos,力士樂Rexroth,哈威Hawe，德國KK,英國Time Electronics,美國斯坦福,英國密其，德國LR-Cal,德國Schleich,澳大利TPS,德國卡爾德意志等進口品牌