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Physik Instrumente Q-Motion小型線性平臺(tái)

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)器，其保持力相對(duì)較大，行程幾乎是無(wú)限的。慣性驅(qū)動(dòng)原理是基于由特殊驅(qū)動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹，移動(dòng)轉(zhuǎn)子。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無(wú)法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時(shí)，驅(qū)動(dòng)直接作用在動(dòng)輪上，實(shí)現(xiàn)大為10毫米/秒的速度。

真空和無(wú)磁性環(huán)境

所有Q-Motion®線性平臺(tái)都適用于高真空中的操作，真空可達(dá)10^-6 百帕。此外，適用于10^-9 百帕的超高真空變型也可供貨?？砂葱杼峁o(wú)磁性版本。

直接測(cè)量原理

可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為4 納米或1 納米，取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)開(kāi)關(guān)。

應(yīng)用領(lǐng)域

微裝配, 光子, 光學(xué)對(duì)準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測(cè)試。

Physik Instrumente Q-Motion小型線性平臺(tái)

寬僅21毫米、高僅10毫米
采用集成式增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測(cè)量
編碼器分辨率高達(dá)1納米
小位移高達(dá)2納米
帶接裝板或支架（作為選配件提供）的多軸系統(tǒng)裝置
適用于高達(dá)10-6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空達(dá)10-9百帕的版本