半導(dǎo)體行業(yè)IH1800愛德華干泵維修。Edwards愛德華IH 系列: (半導(dǎo)體真空泵)IH80、IH160 IH600、IH1000、IH1800干泵維修保養(yǎng)。更換原裝部件，保固期長。

IH1800愛德華干泵所處環(huán)境溫度過高時，油的溫度升高，粘度下降，飽和蒸汽壓會增大，會引起極限真空有所下降，特別是用熱偶計測得的全壓強(qiáng)。如加強(qiáng)通風(fēng)散熱，或改善泵油性能，極限真空可得到改善。

3、如相對濕度較高，或被抽氣體含較多可凝性蒸汽，接通被抽容器后，宜打開氣鎮(zhèn)閥，運(yùn)轉(zhuǎn)20～40分鐘后關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥。停泵前，可開氣鎮(zhèn)閥空載運(yùn)動30分鐘，以延長泵油壽命。

愛德華IH1800真空泵維修保養(yǎng)公司型號及參數(shù)真空系統(tǒng)的操作氣體通過真空泵油封的廢氣將會不斷排放,大量的泡沫油表面,從排氣孔泵溢流損失造成的油污染和設(shè)備。添加防泡沫劑泵油,抗泡沫*提高

IH1800愛德華干泵時，應(yīng)定期的對螺桿泵進(jìn)行檢查，發(fā)現(xiàn)故障要及時維修。般螺桿泵檢修主要有小修和大修之分，螺桿泵小修的檢查周期用在6個月左右，大修的檢查周期應(yīng)在24個月。根據(jù)螺桿泵運(yùn)行狀況及狀態(tài)監(jiān)測結(jié)果可適當(dāng)調(diào)整檢修周期。

螺桿泵的檢修內(nèi)容

a．小修項目

(a)檢查軸封泄漏情況，調(diào)整壓蓋與軸的間隙，更換填料或修理機(jī)械密封。

(b)檢查軸承。

(c)檢查各部位螺栓緊固情況。

(d)消除冷卻水、封油和潤滑系統(tǒng)在運(yùn)行中出現(xiàn)的跑、冒、滴、漏等缺陷。

(e)檢查聯(lián)軸器及對中情況。

b．大修項目

(a)包括小修項目內(nèi)容。

(b)解體檢查各部件磨損情況，測量并調(diào)整各部件配合間隙。

(c)檢查齒輪磨損情況，調(diào)整同步齒輪間隙。

(d)檢查螺桿直線度及磨損情況。

(e)檢查泵體內(nèi)表面磨損情況。

(f)校驗壓力表、安全閥。

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