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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 超聲波 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-3萬(wàn) | 介質(zhì)分類 | 液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品,農(nóng)業(yè),石油,制藥 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
日本東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)液體用
UCUF-E系列液體用超聲波流量計(jì)是專為超純水和各種藥液等小流量測(cè)量而設(shè)計(jì)的流量計(jì)，由UCUF-E型檢測(cè)器和SFC型變換器構(gòu)成。
UCUF型檢測(cè)器的接液部全部由面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的PFA構(gòu)成，沒有可動(dòng)部，可防止積液
也沒有容易產(chǎn)生的o形圈等機(jī)械密封部。 因?yàn)槭抢硐氲臐崈艚Y(jié)構(gòu)，是半導(dǎo)體裝置等要求高潔凈度的工藝的*流量計(jì)。
SFC型變換器大大減輕了半導(dǎo)體工藝、藥液工藝等中存在的問題，對(duì)流體中氣泡的影響。 為了適應(yīng)各種藥液，配備了消除流體運(yùn)動(dòng)粘度影響的補(bǔ)償功能。 可通過RS485通信功能集中管理進(jìn)程。
特長(zhǎng)
EMC標(biāo)準(zhǔn): en 61326-1:2013/en 61326-2-3:2013
支持RoHS
采用連接器結(jié)構(gòu)的拆裝式傳感器電纜
運(yùn)動(dòng)粘度40 mm2多可測(cè)量/s的高粘度流體
精度在指示值的±1%以內(nèi)(流速1 m/s以上時(shí))
廣泛的范圍性能( 100:1代表值)
理想潔凈結(jié)構(gòu)的檢測(cè)器
耐腐蝕，安裝方便
主要用途
半導(dǎo)體制造工藝純水超純水的流量測(cè)定
各種藥液注入工藝的流量測(cè)定
高腐蝕性液體的流量測(cè)量
CMP漿料流量測(cè)量
其他小~中口徑工藝液體流量測(cè)量
清洗裝置、CMP裝置的流量測(cè)量控制
日本東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)液體用
主要規(guī)格
檢測(cè)器規(guī)格
| 形式 | UCUF-04E/06E戰(zhàn)斗機(jī) |
|---|---|
| 測(cè)量對(duì)象 | 全部液體(不含氣泡的液體、混合液應(yīng)均勻溶解) |
| 流量范圍 | 04E : 0 ~ 50mL/min (小) 0 ~ 3000mL/min (大) 06E : 0 ~ 400mL/min (小) 0 ~ 8000mL/min (大) |
| 流體聲速 | 1000 ~ 2200m/s |
| 流體運(yùn)動(dòng)粘度 | 0.3 ~ 40mm2/s |
| 流體溫度 | +10 ~ 60℃ |
| 流體壓力 | 0 ~ 0.5MPa |
| 材質(zhì) | 本體(接液部)材質(zhì): new PFA (無(wú)PFOA ) 傳感器/電纜蓋材質(zhì): PP 蓋部密封件材質(zhì):氟橡膠 |
| 進(jìn)程連接 | PFA氣管末端 |
對(duì)應(yīng)變換器
| 形式 | SFC3000 |
|---|---|
| 輸入 | 傳感器信號(hào):電纜( BNC連接器) |
| 脈沖輸出 | 可選擇頻率脈沖輸出、累計(jì)脈沖輸出或FAULT輸出 集電極開路負(fù)載額定值: DC30V、15mA以內(nèi) 頻率脈沖輸出 占空比:1 :1 脈沖速率:0 ~ 1000Hz (滿量程) 累計(jì)脈沖輸出 單位:×0.1 ml、×1 ml、×10 ml、×1l 脈沖寬度:0.5ms、50 m s、100ms FAULT輸出(轉(zhuǎn)換器、檢測(cè)器異常時(shí)輸出) no，可選擇NC |
| 電流輸出 | DC4~20mA負(fù)載電阻: 500Ω以內(nèi) |
| 低切斷 | 0 ~ 25% F.S |
| 通信 | 搭載RS485通信功能的協(xié)議:多可連接32臺(tái)MODBUS |
| 電源 | DC24V±10% |
| 結(jié)構(gòu) | IP20 (室內(nèi)規(guī)格) |
| 設(shè)置 | DIN導(dǎo)軌安裝 |
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