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日照大規(guī)模集成電路制造潔凈廠房通風(fēng)設(shè)計
近些年在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層點燈格柵以上的上技術(shù)夾層嘗嘗作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層還設(shè)置一下公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等。
日照大規(guī)模集成電路制造潔凈廠房通風(fēng)設(shè)計，在潔凈車間的平面設(shè)計中，每個進入控制區(qū)的人口均有風(fēng)淋室或氣閘室，將生活區(qū)、一般生產(chǎn)區(qū)與控制區(qū)分隔開來。按衛(wèi)生部GMP規(guī)范規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求的凈化級別，我們在潔凈車間空調(diào)機入口及出口處分別設(shè)置了初效、中效或亞*效二級過撼裝置，送風(fēng)末端設(shè)置了亞高效或高效過濾器，靜壓箱和送風(fēng)口根據(jù)工藝要求成組布置在頂棚上。
我們按潔凈級別為10000級，換氣次數(shù)取10-20 次／小時；1000級的換氣次數(shù)取20-30次／小時；100級的則按控制風(fēng)速計算送風(fēng)量。如果一味地用增加換氣次數(shù)，加大送風(fēng)量來滿足凈化要求，勢必加大空調(diào)機組送風(fēng)量，提高主機的容量，增加能耗，況且凈化效果也不盡如人意。潔凈車間為此可以考慮在個別潔凈度要求高的房間采用設(shè)置百級層流罩方案，加強局部的通風(fēng)換氣，達到凈化要求。具體做法是：將送風(fēng)機和高效過濾器組成的機組形成一個局部的小的層流送回風(fēng)系統(tǒng)。如果在這個機組下面再加上垂直擋壁至工作臺面，形成一個局部層流罩，則效果就更佳了?？照{(diào)回風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計中，回風(fēng)口布置恰當(dāng)與否，也是一個關(guān)鍵的問題。