應(yīng)用案例 | JAI Spark系列高分辨率面陣相機，以“顯微級”精度賦能晶圓量測

針對上述挑戰(zhàn)，基于JAI Spark系列SP-20000相機，結(jié)合顯微光學(xué)模組、精準(zhǔn)對焦與照明模組，構(gòu)建了一套面向先進制程的半導(dǎo)體量測檢測方案。該方案通過高分辨率成像、精準(zhǔn)同步控制與高信噪比算法支持，為設(shè)備的顯微成像模組提供核心能力，確保半導(dǎo)體缺陷檢測及量測過程達到µm至亞微米級精度，可用于晶圓前道、后道及先進封裝等多類檢測量測場景：

半導(dǎo)體顯微量測常因光照不均與色偏導(dǎo)致標(biāo)定頻繁。方案通過柯勒照明實現(xiàn)光強與色彩均勻分布，并結(jié)合JAI Spark系列相機的平場、瑕點及色彩矩陣校正功能，從成像端修正成像誤差，這樣可減少因材料切換或工藝波動而產(chǎn)生的頻繁標(biāo)定需求，確保設(shè)備持續(xù)高效運行。

在晶圓高速掃描過程中，若相機曝光與平臺運動不同步，極易出現(xiàn)拖影，影響量測精度。方案通過全局快門在同一瞬間曝光所有像素，并配合多觸發(fā)控制實現(xiàn)精準(zhǔn)同步，在全高分辨率下（5120x3840）仍可保持30fps輸出幀率，為同時需要高圖像質(zhì)量和高吞吐量的機器視覺系統(tǒng)提供支持，確保設(shè)備節(jié)拍不被拖慢。

亞微米尺度缺陷一旦漏檢將影響芯片良率。方案以高感光像元結(jié)合亞像素擬合算法獲得高信噪比圖像，精準(zhǔn)實現(xiàn)邊緣識別和亞微米級微小缺陷檢測，有效降低漏檢、誤判與報廢。

該方案采用的JAI Spark系列SP-20000-CXP2工業(yè)相機，面向高分辨率顯微檢測需求，是設(shè)備成像模組的核心，已成功應(yīng)用于多個國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓檢測企業(yè)，以其高精度、高吞吐量和抗干擾能力為其提供復(fù)雜半導(dǎo)體檢測環(huán)境質(zhì)量優(yōu)異的成像性能。