Holmarc 的探針臺顯微鏡配備了無窮遠校正光學(xué)系統(tǒng)，用于觀察和將探針置于樣品觸點上。經(jīng)過高度校正的長工作距離全變色物鏡可提供超高質(zhì)量的圖像。長工作距離計劃全色物鏡可觀察多層樣品。HO-PSM 系列顯微鏡配有四重旋轉(zhuǎn)鼻托（4 鏡切換轉(zhuǎn)塔），物鏡安裝螺紋為 M26 X 0.706，準(zhǔn)焦距為 95 毫米。高亮度白光 LED 燈（帶強度可調(diào)選項）可用于顯微鏡和角度照明。

應(yīng)用領(lǐng)域包括故障分析、LED、MEMS、光電子、器件表征、晶圓級可靠性等。我們提供一整套附件，使您能夠定位、導(dǎo)航和接觸晶圓或被測設(shè)備。

規(guī)格

手動微機械手：4 個

軸：4（XYZ 和傾斜）

X 行程：25 毫米

Y 向行程：25 毫米

Z 行程：10 毫米

傾斜：+/- 3 度

帶 BNC 輸出的探頭固定裝置

1. 用于顯微鏡的機械手支撐架、底板、手動 XYZ 平臺：1 套

2. XYZ 手動樣品支架：1 套

X 行程：25 毫米

Y 向行程：10 毫米

Z 行程：10 毫米

3. 探針臺雙目顯微鏡及其支架：1 套

光學(xué)系統(tǒng)：無限校正

觀察方法：明視野

照明 ： 反射式（同軸和斜角（或環(huán)形 LED）

照明系統(tǒng)：高亮度白色 LED

鼻托：旋轉(zhuǎn)式，四重，帶正向精確單擊停止裝置

觀察頭：Siedentopf 三目觀察頭，30 度，48 - 75 毫米 IP 調(diào)整

目鏡：10 倍寬視場目鏡，F(xiàn)N = 20 毫米，度數(shù)可調(diào)。

調(diào)焦：手動

物鏡 : 1. LWD Plan Apo 5 倍（NA = 0.14，WD = 34 毫米，視場角目鏡 = 4 毫米，視場角相機 = 1.14 毫米 x 0.856 毫米） 2.

2. LWD Plan Achro 2X (NA= 0.08, WD = 70mm, FOVeyepiece = 10mm, FOVcamera = 2.85mm x 2.14mm)

相機規(guī)格

光學(xué)格式：1/2.5 英寸 CMOS

有源相機尺寸：5.70 毫米 x 4.28 毫米，對角線 7.13 毫米

有效像素：2592 x 1944（500 萬像素）

像素尺寸：2.2 x 2.2 um

彩色濾光片陣列：RGB Bayer 模式

快門類型 ： 電子滾動快門（ERS）

幀頻 ： 全分辨率 - 高達 8 幀/秒，VGA - 高達 70 幀/秒

ADC 分辨率：12 位，片載

像素動態(tài)范圍：70.1 dB

工作溫度：-30°C 至 +70°C

功耗：全分辨率 15 fps 時為 381mW

4. 普通配置筆記本電腦（由于沒有 LCD，將提供普通配置筆記本電腦）

5. 圖像抓取軟件

                                                                                                  項目包括

1. 帶 4 個微型機械手的探針站，探針具有 BNC 輸出接口

2. 4 個微型機械手，X = 0 至 25 毫米，Y = 0 至 25 毫米，Z = 0 至 10 毫米，可進行 +/- 3 度傾斜運動

3. 10 個直徑為 50 微米的鎢探針頭 4.

4. 帶 XYZ 操作功能的樣品支架 5.

5. 帶顯微鏡手動 Z 軸平臺的機械手支撐架和底板 6.

6. 配有無限校正管鏡頭和至少 5 倍物鏡、三目觀察頭和 10 倍目鏡的光學(xué)系統(tǒng) 7.

7. 用于成像的 500 萬像素 12 位彩色攝像頭 8.

8. 普通配置的筆記本電腦（可選）

9. 10 個鍍金探針頭和 5 個探針頭（直徑 50 微米-鍍金鎢材料）--1 套（可選）

10. 10 倍顯微鏡物鏡 - 1 個（可選）

11. 20 倍顯微鏡物鏡 - 1 個（可選）

             

                                                                                                 可選配件

1. LWD Plan Apo 10 倍顯微鏡物鏡

NA : 0.3

工作距離：31 毫米

目鏡視場角：2 毫米

相機視場角：0.57 毫米 x 0.428 毫米

2. LWD Plan Apo 20X 顯微鏡物鏡

NA : 0.35

工作距離：29 毫米

目鏡視場角：2 毫米

照相機視場角：0.285 毫米 x 0.214 毫米

3. 探頭：5 個

探頭直徑：50 毫米

材料：鍍金鎢

4. 鍍金 POGO 探頭

數(shù)量 = 10 個