菲佐干涉儀是最靈活的干涉儀，可通過(guò)非接觸配置測(cè)量平面和球面。它的參考光路和測(cè)量光路相同，因此是一種結(jié)構(gòu)緊湊、抗震的系統(tǒng)。Fizeau Interferometer與Fabry-Perot interferometer相似，都由兩個(gè)反射面組成。不過(guò)，在菲佐干涉儀中，第二個(gè)表面通常是全反射的。角度分束器捕捉參考光束和測(cè)量光束。

Holmarc 菲佐干涉儀采用開(kāi)放式垂直配置。它適用于平面和球面的常規(guī)測(cè)量。光源采用 DPSS 激光器。垂直方向的光學(xué)布局便于放置測(cè)試元件。CCD 攝像機(jī)捕捉到的條紋由計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析。該設(shè)備既可用于生產(chǎn)過(guò)程中的光學(xué)質(zhì)量控制，也可用于實(shí)驗(yàn)室的常規(guī)檢測(cè)。

           

                                                                                                                      功能

可進(jìn)行高精度平面度測(cè)量

使用靜態(tài)條紋分析軟件

儀器采用直立式結(jié)構(gòu)，便于固定測(cè)試樣品

使用高質(zhì)量的像差校正光學(xué)元件

                                                                                                                      規(guī)格

樣品尺寸：≤ 100 毫米

參考平面：λ/20 P V 直徑 100 mm 厚度 25 mm

精度：≤ λ / 20 PV

激光源：DPSS 5.0 mW 532 nm

校準(zhǔn)：通過(guò) 傾斜樣品底座

攝像頭：CCD 1280 x 1024 分辨率

分析：使用 條紋分析軟件

重量：約 25 千克

電源：220 伏 ，50 赫茲

                                                                                                                  包括的組件

532nm (5 mW) DPSS 激光源、

空間濾波器組件

分光鏡

帶支架的準(zhǔn)直透鏡

帶支架的參考平面

測(cè)試平面支架

帶 CCD 等的變焦鏡頭