干式分子泵組是真空技術(shù)中的一種高1端配置,專為要求更加潔凈、無(wú)油污染的高真空/超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。它通常由兩個(gè)核心部分組成:干式前級(jí)機(jī)械泵和分子泵。這種組合完1全摒棄了傳統(tǒng)真空泵中的油或脂潤(rùn)滑,從大氣壓到超高真空全程保持系統(tǒng)潔凈,消除碳?xì)浠衔镂廴撅L(fēng)險(xiǎn)。
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干式分子泵組是真空技術(shù)中的一種高1端配置,專為要求更加潔凈、無(wú)油污染的高真空/超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。它通常由兩個(gè)核心部分組成:干式前級(jí)機(jī)械泵和分子泵。這種組合完1全摒棄了傳統(tǒng)真空泵中的油或脂潤(rùn)滑,從大氣壓到超高真空全程保持系統(tǒng)潔凈,消除碳?xì)浠衔镂廴撅L(fēng)險(xiǎn)。
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