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射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

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  • 型號(hào) 射頻PECVD
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
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更新時(shí)間:2024-04-08 11:39:34瀏覽次數(shù):693

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射頻PECVD(射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)是一種研發(fā)新材料的gao端設(shè)備,在高頻電磁場(chǎng)作用下產(chǎn)生高活性等離子體,從而實(shí)現(xiàn)材料生長(zhǎng)、材料表界面改性等;

詳細(xì)介紹

在金屬化合物研發(fā)上的應(yīng)用

1、金屬化合物的制備及摻雜調(diào)控和結(jié)構(gòu)優(yōu)化可在不同材料基底(金屬、碳、玻璃、半導(dǎo)體等)上,可控制備不同類型金屬化合物材料(氧化物、氮化物、硫化物、磷化物、硒化物等),并實(shí)現(xiàn)了多元素?fù)诫s(硼、硫、氟、磷等)和結(jié)構(gòu)優(yōu)化。

使用本設(shè)備可以直接制備金屬化合物材料(氧化物、氮化物、硫化物、磷化物、硒化物等),亦可實(shí)現(xiàn)金屬氧化物、氮化物、硫化物、磷化物、硒化物、磷化物、硼化物、氟化物、碳化物之間的相互轉(zhuǎn)化、異質(zhì)構(gòu)筑、異質(zhì)元素?fù)诫s和改性。

2、MOF材料衍生物制備

可對(duì)不同的MOF材料進(jìn)行等離子體轉(zhuǎn)化合成不同類型的金屬化合物(如金屬氧化物、金屬碳化物、金屬硫化物、金屬磷化物、金屬硒化物、金屬氮化物等),并實(shí)現(xiàn)了多元素?fù)诫s(氮、硼、氟、磷、硫、硒等)和結(jié)構(gòu)優(yōu)化。

在功能金屬研發(fā)上的應(yīng)用

|1、鎳?yán)w維、鈷纖維、鈦纖維、不銹鋼纖維等的界面改性及摻雜調(diào)控和結(jié)構(gòu)優(yōu)化

可對(duì)金屬纖維(鎳?yán)w維、鈷纖維、鈦纖維、不銹鋼纖維等)表界面進(jìn)行組分優(yōu)化和物相調(diào)控,可在其表面實(shí)現(xiàn)多元素?fù)诫s(氮、硫、氟、磷等)和物相結(jié)構(gòu)優(yōu)化,比如將其界面組分改造為各類型金屬化合物(如氧化物、碳化物、硫化物、磷化物、硒化物、氮化物等),使其具有良好的導(dǎo)電性和催化儲(chǔ)能性能。

2、泡沫鎳、泡沫銅的界面改性及摻雜調(diào)控和結(jié)構(gòu)優(yōu)化

可對(duì)泡沫鎳(泡沫銅)表界面進(jìn)行組分優(yōu)化和物相調(diào)控,可在其表面實(shí)現(xiàn)多元素?fù)诫s(氮、硫、氟、磷等)和物相結(jié)構(gòu)優(yōu)化,比如將其界面組分改造為各類型金屬化合物(如氧化物、碳化物、硫化物、磷化物、硒化物、氮化物等),使其具有良好的導(dǎo)電性和催化儲(chǔ)能性能。



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