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產(chǎn)品簡介
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世偉洛克低流量角形計量閥
流體系統(tǒng)對良品率潛力的影響。
流體和氣體系統(tǒng)對良率的影響主要受到兩個關(guān)鍵因素的影響：污染和腐蝕。
先，隨著工藝晶體管的不斷小型化，抗污染性已成為超高純度生產(chǎn)環(huán)境中越來越重要的性能指標(biāo)。即使是微不足道的微觀外來顆粒也會引起重大問題。正確的流體系統(tǒng)組件可以幫助限制污染物進入芯片制造過程，從而有助于在生產(chǎn)過程中提高可用芯片的產(chǎn)量。
其次，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝越來越多地使用更具腐蝕性的工藝氣體，這可能需要越來越高的工作溫度，因此腐蝕可能性增大。由于需要更換這些系統(tǒng)中腐蝕的閥門、接頭或卡套管而導(dǎo)致的任何停機都可能導(dǎo)致生產(chǎn)停頓并大大降低整體良品率。優(yōu)異的耐腐蝕性可以幫助制造商避免此類停機的發(fā)生。安全也是這里的主要考量 - 系統(tǒng)組件運行不正常會導(dǎo)致潛在的危險泄漏。
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可以通過多種方式提高良品率，但是在半導(dǎo)體制造工藝的一個有時被忽視的領(lǐng)域中存在巨大的潛力：將反應(yīng)性鹵素氣體從存儲區(qū)輸送到沉積室的關(guān)鍵流體系統(tǒng)和組件。隨著對工藝條件的要求越來越苛刻，反應(yīng)性氣體變得越來越輕和更具腐蝕性，這些系統(tǒng)必須具備很高水平的性能 - 很大程度上取決于制造它們的材料。
在當(dāng)今的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)環(huán)境中，低等級的不銹鋼材料通常不具備必要的性能水平。以下解釋了使用優(yōu)質(zhì)材料制成的流體系統(tǒng)組件如何有助于提高良品率，以及半導(dǎo)體制造商在不銹鋼材料規(guī)格時應(yīng)考慮的事項。