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美國布魯克斯質(zhì)量流量計 為真正實現(xiàn)對每個過程的控制，用戶必須準(zhǔn)確測量進(jìn)行中的過程 — 范圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然后利用所得到的實時信息確過程準(zhǔn)確按照目標(biāo)執(zhí)行并達(dá)到目標(biāo)產(chǎn)率。
作為一家在氣體準(zhǔn)確測量與控制方面的企業(yè)，布魯克斯儀器數(shù)十年來不斷堅持創(chuàng)新熱質(zhì)量流量技術(shù)，推出新產(chǎn)品并不斷提升現(xiàn)有系統(tǒng)性能以突破現(xiàn)有熱質(zhì)量流量技術(shù)在準(zhǔn)確性、響應(yīng)速度、精度和重現(xiàn)性方面的限制。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
美國布魯克斯質(zhì)量流量計
為真正實現(xiàn)對每個過程的控制，用戶必須準(zhǔn)確測量進(jìn)行中的過程 — 范圍涉及饋線、倉室等每一處 — 然后利用所得到的實時信息確過程準(zhǔn)確按照目標(biāo)執(zhí)行并達(dá)到目標(biāo)產(chǎn)率。
作為一家在氣體準(zhǔn)確測量與控制方面的企業(yè)，布魯克斯儀器數(shù)十年來不斷堅持創(chuàng)新熱質(zhì)量流量技術(shù)，推出新產(chǎn)品并不斷提升現(xiàn)有系統(tǒng)性能以突破現(xiàn)有熱質(zhì)量流量技術(shù)在準(zhǔn)確性、響應(yīng)速度、精度和重現(xiàn)性方面的限制。
美國布魯克斯質(zhì)量流量計
布魯克斯質(zhì)量流量設(shè)備在球得到廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵原因：
- 擁有業(yè)內(nèi)種類齊全的產(chǎn)品系列可滿足各種應(yīng)用需求
- 創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術(shù)可使一臺設(shè)備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設(shè)備，同時還能夠提升過程氣體的測量準(zhǔn)確性
- 產(chǎn)品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件
- 超高純度設(shè)備，專為滿足薄膜、半導(dǎo)體以及其他高科技行業(yè)需求而設(shè)計
關(guān)鍵應(yīng)用
- 熱處理、切割等其他熱過程
- 半導(dǎo)體和 LED 生產(chǎn)工具
- 薄膜淀積系統(tǒng)
- 用于生物制藥的生物反應(yīng)器
- 石化和化工氣體和液體試驗工廠
- 吹掃氣體、過程分析和分析用流量測定
- 寬的流量和壓力適用范圍
- 長期穩(wěn)定性保障設(shè)備使用價值
- 包括經(jīng)認(rèn)證適用于危險區(qū)域的產(chǎn)品
- 可清洗/沖洗的設(shè)備外殼
流體類型
流量范圍-滿量程容量3 sccm - 2500 lpm
精度± 0.6% of SP
上限壓力4500 psig
溫度65oC