您好, 歡迎來到化工儀器網
產品簡介
布魯克斯GF系列質量流量計GF126 系列產品是第二代多變量壓力變化補償型 （PTI） 金屬密封質量流量控制器和儀表，有著超快的響應速度和超高的純度。作為一個將 PTI 質量流量控制技術引入市場的 GF125 系列產品大限度降低了壓力和溫度波動導致的過程氣體流量變化。一臺采用標準 MultiFlo™ 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不
詳細介紹
布魯克斯GF系列質量流量計
GF126 系列產品是第二代多變量壓力變化補償型 (PTI) 金屬密封質量流量控制器和儀表，有著超快的響應速度和超高的純度。作為一個將 PTI 質量流量控制技術引入市場的 GF125 系列產品大限度降低了壓力和溫度波動導致的過程氣體流量變化。一臺采用標準 MultiFlo™ 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。
結果：降低了氣體顯示屏尺寸和成本，這得益于省去了壓力調節(jié)器、壓力傳感器和相關硬件的使用并輔以行業(yè)佳的 PTI 性能以大限度提高產率和生產效率。
布魯克斯GF系列質量流量計特點
- 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%ar
- 穩(wěn)定時間極短：300 ms - <700 ms
- 滿量程流速高達 300 slpm
- 超高純度流路 - 4µ 英寸 Ra 表面處理
- 符合 SEMI F20 標準的接液材料
- 采用高速 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器
- 可進行快速反應的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測試表明產品經七百萬次循環(huán)*
- MultiFlo™ 技術擁有較高的靈活性 — 一臺設備經編程設定后即可滿足數千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
- 本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網絡地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題
- DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)勢
- GF125 系列產品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器技術與能夠進行快速反應的無隔膜閥組件相結合，可將響應速度和穩(wěn)定速度較之其他質量流量控制器提高 3 倍。
- 經優(yōu)化的接液流路，可提升干燥效果
- MultiFloTM 技術可實現 MFC 流量測定量程的重新設定，通常是按 3:1 下調并且不影響精度，量程比或內漏率，以提供佳的工藝和庫存靈活性
- 全面的氣體數據庫為您提供廣泛的氣體保護信息
- 壓力變化補償 (PTI) 功能能夠克服傳統(tǒng) MFC 的限制（受進氣壓力波動影響明顯）。產品效果表明其性能穩(wěn)定并且可達到預期精度。
- 便捷的用戶顯示屏和獨立的診斷/維護端口有助于設備安裝、監(jiān)測和故障排除
關鍵應用
- 半導體
- MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）
- 要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應用