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布魯克斯腐蝕性氣體質(zhì)量流量計(jì) 傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性可降低對(duì)維護(hù)和定期校準(zhǔn)的要求，從而降低總體經(jīng)營(yíng)成本
布魯克斯儀器的熱感測(cè)技術(shù)可提供*的信噪比性能從而提升低設(shè)定值條件下的測(cè)量和控制精度
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
布魯克斯腐蝕性氣體質(zhì)量流量計(jì)
國(guó)內(nèi)專業(yè)的流量計(jì)服務(wù)商，專業(yè)的MFC技術(shù)服務(wù)商，主營(yíng)進(jìn)口品牌氣體質(zhì)量流量控制器，BROOKS，MKP以及和合資高性價(jià)比品牌INHA。廠家拿貨，*，價(jià)格合理。從事流量計(jì)行業(yè)多年，可以給您更高效和專業(yè)的指導(dǎo)和方案設(shè)計(jì)。
布魯克斯腐蝕性氣體質(zhì)量流量計(jì)
BROOKS流量計(jì) 5850S/5851S/5860S/GF125/GF126
流量范圍 相當(dāng)于0－3 sccm到0－30 sccm氮?dú)猓∟2）的范圍
性能：校準(zhǔn)后為滿量程±1％，大于20slpm時(shí)為滿量程±1.5％。
可重復(fù)性：0.25％ 控制范圍：50：1 安裝狀態(tài)靈感度：復(fù)零后，比**度誤差不到±0.5％量程。
溫度敏感度：零點(diǎn)：小于±0.075％量程每攝氏度
量程：比*初校準(zhǔn)刻度小±1.0％量程（在10－50攝氏度）
壓力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)
輸出電壓：0－5伏直流（200K歐姆的輸出電阻）
輸出信號(hào)：輸出0－5伏直流到20歐姆或更高的負(fù)荷 輸出5±0.1伏直流（參考），**負(fù)荷20歐姆
*操作壓力：1500psig ;5-50psid壓損（**壓損根據(jù)氣體和周圍環(huán)境具體而定）
溫度、外界/氣體：41－149oF（5－65oC）
*泄漏，外界：1×10-9cc/s
功率要求：常閉閥（或常開(kāi)閥/流量≤2.5slpm）
直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常開(kāi)閥/流量>2.5slpm
直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
構(gòu)造材質(zhì)：
標(biāo)準(zhǔn)接液部分采用不銹鋼材質(zhì)，可供選擇的還有;Kalrez或Buna-N
連接：
硬件連接：標(biāo)準(zhǔn)9/16－18UNF不銹鋼壓力接頭(Swagelok)，可選：VCO或VCR
電氣連接：卡連接器