嵌入式膜厚檢測儀

嵌入式膜厚檢測儀 FE-3

嵌入式膜厚檢測儀可高精度測量具有波長依存性的多層膜！

產(chǎn)品信息

特　點(diǎn)

•采用分光干涉法

•搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)

•使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

•可嵌入至各種制造設(shè)備。

•實(shí)時測量膜厚

•可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測量

•采用壽命長、安全性高的白色LED光源

測量項(xiàng)目

·多層膜厚解析

用　途

•光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）

•FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）

設(shè)備構(gòu)成

單點(diǎn)型

•半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

•玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點(diǎn)型

•實(shí)時測量

•流向品質(zhì)管理

•真空室適用

導(dǎo)線型

•實(shí)時測量

•寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析