日本yamamoto-ms電鍍?nèi)芤簯?yīng)力測(cè)試設(shè)備解析

通過(guò)用傳感器測(cè)量基板的應(yīng)變，實(shí)時(shí)測(cè)量鍍層的內(nèi)應(yīng)力。

可以通過(guò)一次測(cè)量測(cè)量每個(gè)電鍍時(shí)間的應(yīng)力（膜厚）。也可以在已鍍過(guò)一次的薄膜上重新鍍時(shí)測(cè)量應(yīng)力。可以測(cè)量微小的壓力，這是傳統(tǒng)壓力計(jì)無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。精密電鍍電源YPP系列的插槽中插入專用的應(yīng)力計(jì)板以供使用。

特征

● 符合JIS H8626 標(biāo)準(zhǔn)。
● 即使在微弱的壓力下也能進(jìn)行測(cè)量。適用于測(cè)量薄膜和晶圓等薄弱產(chǎn)品。（從0.5μm以上的膜厚開始可以進(jìn)行精密測(cè)量）
●也可以測(cè)量其他方法無(wú)法測(cè)量的初始應(yīng)力。
● 適用于精細(xì)零件。
● 傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入到與電源相連的PC 上，PC 自動(dòng)計(jì)算出應(yīng)力值，無(wú)需任何計(jì)算。此外，正在測(cè)量的數(shù)據(jù)使用個(gè)人計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)顯示和累積。

電源及壓力測(cè)量板規(guī)格