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薄膜基板開發(fā)和試制用高精度配向摩擦設(shè)備

閱讀:183          發(fā)布時間:2021-6-28
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薄膜基板開發(fā)和試制用高精度配向摩擦設(shè)備

 

日本EHC臺式摩擦裝置『RUBBING?JIG MRG-100』可以對玻璃基板、薄膜基板等進(jìn)行高精度配向摩擦,是一款適合進(jìn)行開發(fā)和試制的裝置。
可以通過調(diào)節(jié)旋鈕和撥動式開關(guān)簡單地控制摩擦輥的旋轉(zhuǎn)及試料臺的移動。
外形尺寸為320×440mm,式樣小巧,可以安裝在狹小的空間,同時也非常便于攜帶。
 
【規(guī)格】
對象試料大小:最大100mm方形基板
工作臺移動速度:最大25mm/sec(可手動調(diào)節(jié))※通過撥動式開關(guān)控制前進(jìn)與后退的切換
工作臺移動行程:約150mm
工作臺上下行程:10mm(使用微型頭手動操作)
摩擦輥寬:100mm
摩擦輥直徑:φ48mm
摩擦輥轉(zhuǎn)速:最大3000rpm、使用個別開關(guān)等切換旋轉(zhuǎn)方向和轉(zhuǎn)速
電源:AC100V
外形尺寸:W320×D440×H276mm
(可選配數(shù)字轉(zhuǎn)速計和扭矩計)

日本ehc小型摩擦裝置MRM-100
•目的:用于LCD對準(zhǔn)調(diào)查的實驗室用拉比機(jī)

•長凳型。

•基板加載:手動

•加載/卸載位置:拉桿前后

•最大基板尺寸:100mm×100mm

•基板厚度:最小0.1mm,最大2mm

•基板材料:玻璃、PC、COP等

黃色 松本

基板桌子

•速度:0~50mm/sec、1mm/sec、精度±可通過0.1mm/sec的步驟進(jìn)行調(diào)整

•移動行程:300mm

•移動方向:垂直于滾筒、上下方向、上下方向(自動)

•工作臺旋轉(zhuǎn):固定

•表格表面平坦度:±10μm

•基板固定:真空發(fā)生器吸附固定

•基板定位:手動

拉桿

•寬度:240mm

•直徑:48mm±0.01mm(以滾芯外徑定義)

•RPM:0?1500 rpm。 1rpm、精度±可通過0.1rpm的步驟進(jìn)行調(diào)整(數(shù)字顯示)

•平行度對基板表:相對于全部寬度±10μm

•平行度對臺行程:以*的拉桿行程±10μm

•旋轉(zhuǎn)方向:順時針和逆時針

•上卷/下行程:10mm

•滾筒壓(行程)精度:±0.01 mm

•角度調(diào)整:±45°、1°可設(shè)定為單位

•布是天鵝絨黑色,吉川化工 YA-20-R 毛長2mm 密度32000根/cm^2

實用程序

•電源:AC100-240V 50/60Hz,最大500W

•壓空:0.5MPa

•尺寸 W600 x D760 x H807.2mm 重量:約80kg

 

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