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瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

更新時(shí)間：2025-07-02 14:59:51瀏覽次數(shù)：116次

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瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002
型號(hào)解析（VAT命名規(guī)則）
代碼段含義
01034系列：小口徑高真空角閥
KE01法蘭類型：ISO-KF16（DN16）
0002配置代碼：帶氣動(dòng)執(zhí)行器+位置傳感器

瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002

1. 型號(hào)解析（VAT命名規(guī)則）

代碼段含義
01034系列：小口徑高真空角閥
KE01法蘭類型：ISO-KF16（DN16）
0002配置代碼：帶氣動(dòng)執(zhí)行器+位置傳感器

2. 核心參數(shù)

參數(shù)規(guī)格
真空范圍10?? ~ 1000 mbar
泄漏率≤1×10?? mbar·L/s（金屬密封）
閥體材質(zhì)不銹鋼316L（EP拋光）
密封選項(xiàng)全金屬密封 / FFKM彈性體
驅(qū)動(dòng)方式氣動(dòng)雙作用（4~6 bar）
響應(yīng)時(shí)間≤0.3秒（開(kāi)/關(guān)）
溫度范圍-200℃~250℃（標(biāo)準(zhǔn)型）

3. 結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

  • 零泄漏設(shè)計(jì)：

    • 金屬波紋管傳動(dòng)（無(wú)動(dòng)態(tài)密封泄漏風(fēng)險(xiǎn)）

    • 錐面閥座密封（10?? mbar級(jí)密封）

  • 智能反饋：

    • 集成磁耦位置傳感器（PNP輸出）

    • LED狀態(tài)指示燈（紅/綠雙色）

4. 典型應(yīng)用

  • 分析儀器：

    • 質(zhì)譜儀進(jìn)樣系統(tǒng)隔離

    • 電子顯微鏡樣品室

  • 半導(dǎo)體：

    • 晶圓傳輸模塊（EFEM）

    • 刻蝕設(shè)備氣體通路控制

5. 安裝規(guī)范

  • 法蘭連接：

    • 扭矩限制：5 Nm（ISO-KF16卡箍）

    • 密封圈：無(wú)氧銅墊圈（P/N: VAT-CU16）

  • 氣路要求：

    • 驅(qū)動(dòng)氣體：氮?dú)饣驓鍤猓兌取?9.999%）

    • 管路過(guò)濾：0.1μm過(guò)濾器

6. 電氣接口

端子功能
1（棕色）24V DC+
2（藍(lán)色）0V
3（黑色）閥開(kāi)信號(hào)（PNP）
4（白色）閥關(guān)信號(hào)（PNP）

7. 維護(hù)周期

項(xiàng)目操作周期
密封面檢查白光干涉儀檢測(cè)1年/10?次循環(huán)
波紋管壽命氦檢漏測(cè)試5年或10?次循環(huán)
位置傳感器校準(zhǔn)閥位反饋調(diào)整2年

8. 故障診斷

代碼含義處理方案
E01傳感器信號(hào)丟失檢查磁耦對(duì)齊
E03氣壓不足確認(rèn)驅(qū)動(dòng)壓力≥4 bar
E05超溫報(bào)警檢查環(huán)境溫度是否超標(biāo)

9. 替代方案

品牌/型號(hào)差異點(diǎn)
VAT 01034-KE01-0001無(wú)位置傳感器
Pfeiffer EVR 116電動(dòng)執(zhí)行器，響應(yīng)較慢
NorCal UHV-16價(jià)格低25%，泄漏率略高

該型號(hào)標(biāo)準(zhǔn)交貨期12周。如需 超高真空版（10?11 mbar） 或 無(wú)磁版本，需額外增加6周定制周期。建議配套使用VAT 52X系列 電磁閥組實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。

瑞士VAT真空閥 01034-KE01-0002

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