表面體積電阻率測(cè)試儀對(duì)樣品的主要要求如下：

一、表面體積電阻率測(cè)試儀幾何尺寸規(guī)范

?標(biāo)準(zhǔn)試樣尺寸?

圓形平板：直徑φ100mm或φ50mm

方形平板：100×100mm2或50×50mm2

管狀試樣：長(zhǎng)度100mm或50mm

基材厚度≥0.50mm時(shí)優(yōu)先采用100×100mm2規(guī)格

?厚度要求?

常規(guī)固體材料：2-4mm（ASTM D257標(biāo)準(zhǔn)）

薄膜材料：需使用非接觸式厚度儀測(cè)量5個(gè)點(diǎn)取平均值，誤差≤±0.02mm

二、表面體積電阻率測(cè)試儀表面處理要求

?清潔規(guī)范?

使用異丙醇與去離子水（3:1）混合液擦拭表面

特殊污染物需用400目氧化鋁拋光膏處理，處理后接觸電阻<0.1Ω

?干燥條件?

105℃烘箱干燥2小時(shí)以消除靜電

平衡處理：在23±2℃、50±5%RH環(huán)境下靜置24小時(shí)

三、表面體積電阻率測(cè)試儀特殊材料要求

?復(fù)合材料?

需分層測(cè)試并記錄層間接觸電阻

半導(dǎo)體材料需采用四點(diǎn)探針?lè)ㄏ吘壭?yīng)

?納米涂層/薄膜?

實(shí)施多點(diǎn)采樣法，每個(gè)樣品至少選取5個(gè)測(cè)試點(diǎn)

安裝時(shí)需使用真空吸附裝置避免氣泡干擾

四、表面體積電阻率測(cè)試儀電極制備標(biāo)準(zhǔn)

?導(dǎo)電層處理?

覆銅箔面采用蝕刻法制備標(biāo)準(zhǔn)電極圖形

未覆銅面需涂覆導(dǎo)電銀漆，涂層厚度≤50μm

?特殊形狀樣品?

管狀樣品需保證電極覆蓋周長(zhǎng)≥90%

不規(guī)則試樣需通過(guò)機(jī)械加工獲得平行測(cè)試面

五、表面體積電阻率測(cè)試儀數(shù)量與質(zhì)量控制

常規(guī)測(cè)試需≥3個(gè)有效樣品

高精度測(cè)量時(shí)每組數(shù)據(jù)需連續(xù)記錄3組穩(wěn)定值，偏差>10%需復(fù)測(cè)

注：以上要求綜合GB/T 1410、IEC 60093及ASTM D257等標(biāo)準(zhǔn)制定，實(shí)際測(cè)試應(yīng)根據(jù)具體材料特性調(diào)整參數(shù)。

電壓擊穿測(cè)試儀，體積表面電阻率測(cè)試儀，介電常數(shù)介質(zhì)損耗測(cè)試儀，漏電起痕試驗(yàn)儀，耐電弧試驗(yàn)儀，TOC總有機(jī)碳分析儀，完整性測(cè)試儀，無(wú)轉(zhuǎn)子硫化儀，門(mén)尼粘度試驗(yàn)機(jī)，熱變形維卡溫度測(cè)定儀，簡(jiǎn)支梁沖擊試驗(yàn)機(jī)，毛細(xì)管流變儀，橡膠塑料滑動(dòng)摩擦試驗(yàn)機(jī)，氧指數(shù)測(cè)定儀，水平垂直燃燒試驗(yàn)機(jī)，熔體流動(dòng)速率測(cè)定儀，低溫脆性測(cè)試儀，拉力試驗(yàn)機(jī)，海綿泡沫壓陷硬度測(cè)試儀，海綿泡沫落球回彈測(cè)試儀，海綿泡沫壓縮永九變形試驗(yàn)儀