| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
食品,農(nóng)業(yè),建材 |
參數(shù) |
沿X和Y方向的行程范圍可達(dá)75米 |
Piezoconcept 雙軸納米定位器產(chǎn)品介紹
LFHS2是一款2軸超高速納米精密定位器，沿X和Y方向的行程范圍可達(dá)75米，具有66毫米x 66mm毫米的大孔徑，兩軸的諧振頻率均高于2kHz。如果需要，它還可以與集成的Z軸(50米行程范圍)一起使用(參見3軸型號(hào)LFHS3).
Piezoconcept 雙軸納米定位器產(chǎn)品介紹
HS1H系列是一款緊湊型納米定位器，可以組合成2軸甚至3軸納米定位系統(tǒng)。它提供 10、30、50、70 或 100μm 的運(yùn)動(dòng)范圍，中心孔徑為 33 mm，
是光學(xué)顯微鏡應(yīng)用的理想選擇。由于采用直接驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，它具有特別快的步進(jìn)響應(yīng)時(shí)間。
Z-STAGE系列是一款緊湊型Z型直接驅(qū)動(dòng)納米定位器，具有高速能力。它可以與具有2×66毫米孔徑（LF66 / LFHS2）的2軸納米定位器結(jié)合使用，以獲得SPM3或SPM3LR。Z載物臺(tái)可提供 5、10、25 或 50μm 的運(yùn)動(dòng)范圍。
該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（提供高功率控制器）。
TT1系列是一個(gè) 1 軸載物臺(tái) （Theta），運(yùn)動(dòng)范圍為 5 或 10mrad。它是需要光束控制的應(yīng)用的理想工具。
這使得這款高速載物臺(tái)成為粒子跟蹤、光學(xué)鑷子、光束穩(wěn)定和掃描顯微鏡等應(yīng)用的暢銷產(chǎn)品。
LFHS2是一款 2 軸超高速納米定位器，沿 X 軸和 Y 軸的行程范圍高達(dá) 75μm，具有 66mm x 66mm 的大孔徑和高于 2kHz 的兩軸諧振頻率。
如果需要，它還可提供集成的Z軸（50μm行程范圍）（參見3軸型號(hào)LFHS3），該壓電級(jí)可以與粗定位的微載物臺(tái)結(jié)合使用（參見我們的混合系統(tǒng)）。
使用高功率控制器可以實(shí)現(xiàn)高速掃描和短于2ms的步進(jìn)響應(yīng)時(shí)間。
產(chǎn)品參數(shù)：
運(yùn)動(dòng)范圍（um）:30
分辨率（nm）:0.03
噪聲下限（nm典型值）0.003
重復(fù)性（nm）:0.06
線性化（典型值共振頻率（Hz）:0.02%
線性化:0.02%
剛度（N/um）0.6
傳感器尺寸Wx L x H（mm）:120.8x120.7x28.5
材料電纜長度（m）:2
控制器最大負(fù)載:1
水平使用垂直使用:0.5
諧振頻率XY（Hz）:3000/2000
剛度XY（N/um）:4/3
產(chǎn)品圖紙:
Piezoconcept 雙軸納米定位器產(chǎn)品介紹
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