北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司
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P-363.3CD-德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)
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德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái),應(yīng)用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃描和篩選

德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD


德國(guó)PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD


X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角:0.5微弧度

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)的傾斜:0.2微弧度


應(yīng)用領(lǐng)域:

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選


產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào):P-363.3CD

主動(dòng)軸:X、Y、Z

集成傳感器:電容式

-250+250伏時(shí)XY向上的開(kāi)環(huán)行程:±3微米

-250+250伏時(shí)Z向上的開(kāi)環(huán)行程:±2.7微米

X、Y向上的閉環(huán)行程:±2.5微米

Z向上的閉環(huán)行程:±2.5微米

分辨率,開(kāi)環(huán):0.03納米

分辨率,閉環(huán):0.1納米

線性誤差:0.05%

重復(fù)精度:1納米

X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角:0.5微弧度

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)的傾斜:0.2微弧度

X、Y向上的直線度:3納米

XY向上的平面度:<10納米

X、Y向上的串?dāng)_(Z向運(yùn)動(dòng)):5納米

X、Y向上的空載諧振頻率:3.1千赫茲

Z向上的空載諧振頻率:9.8千赫茲

帶負(fù)載時(shí)XY向上的諧振頻率:1.5(20)千赫茲

負(fù)載容量:10


德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD


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