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P-753-德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺
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更新時(shí)間:2024-12-23 13:31:20

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電機(jī)馬達(dá)-減速機(jī)
機(jī)械器件
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德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺,應(yīng)用于掃描顯微鏡,測量技術(shù),測試程序和質(zhì)量保證,光子,光纖定位

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 促動器 線性促動器 P-753



P-753 LISA線性促動器和平臺

應(yīng)用領(lǐng)域:

掃描顯微鏡

測量技術(shù)

測試程序和質(zhì)量保證

光子

光纖定位

產(chǎn)品參數(shù):

型號:P-753.1CD

主動軸:X

集成傳感器:電容式

行程,閉環(huán):15微米

分辨率,閉環(huán):0.1納米

線性誤差,閉環(huán):0.03%

重復(fù)精度:±1納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角:±5微弧度

運(yùn)動方向上的剛性:45/微米

諧振頻率,空載:5.6千赫茲

200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率:2.5千赫茲

運(yùn)動方向上的推/拉力:100 / 20

型號:P-753.2CD

主動軸:X

集成傳感器:電容式

行程,閉環(huán):30微米

分辨率,閉環(huán):0.2納米

線性誤差,閉環(huán):0.03%

重復(fù)精度:±2納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角:±7微弧度

運(yùn)動方向上的剛性:24/微米

諧振頻率,空載:3.7千赫茲

200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率:1.7千赫茲

運(yùn)動方向上的推/拉力:100 / 20

型號:P-753.3CD

主動軸:X

集成傳感器:電容式

行程,閉環(huán):38微米

分辨率,閉環(huán):0.25納米

線性誤差,閉環(huán):0.03%

重復(fù)精度:±3納米

螺距/偏轉(zhuǎn)角:±10微弧度

運(yùn)動方向上的剛性:16/微米

諧振頻率,空載:2.9千赫茲

200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率:1.4千赫茲

運(yùn)動方向上的推/拉力:100 / 20


德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 促動器 線性促動器 P-753


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