幾種常見的近紅外光譜儀
一、濾光片型微型近紅外光譜儀
濾光片型微型近紅外光譜儀按照濾光片類型又可分為基于可調(diào)諧濾光片型光譜儀和基于線性濾光片型光譜儀。可調(diào)諧濾光片型微型近紅外光譜儀本質(zhì)是法布里-珀干涉儀:由上下鏡和一個介質(zhì)層(諧振腔)構(gòu)成,通過對上下鏡施加靜電驅(qū)動電壓來調(diào)節(jié)諧振腔厚度,實現(xiàn)連續(xù)可調(diào)濾波。線性濾光片型微型近紅外光譜儀的基本原理則是通過錐形腔層的厚度變化進(jìn)行快速分光。其基本元件分別為可調(diào)諧法布里-珀羅濾光片和線性漸變?yōu)V光片
二、色散型微型近紅外光譜儀
色散型微型近紅外光譜儀主要通過光柵分光,其中包括通過改變光柵角度進(jìn)行色散,并通過單元探測器依次獲取光譜不同波段信息的掃描光柵型微型近紅外光譜儀,和通過采用陣列檢測器直接獲取光柵不同波段光譜信息的陣列檢測型微型近紅外光譜儀。其中光柵掃描型微型光譜儀的核心元件是掃描光柵。入射光經(jīng)光纖進(jìn)入、準(zhǔn)直后,掃描光柵不斷改變角度,將光色散后成像,依次通過狹縫被單管探測器收集。
三、調(diào)制型微型近紅外光譜儀
傅里葉變換型微型近紅外光譜儀
傅里葉變換型微型光譜儀基于傅里葉變換和光的干涉原理,屬于調(diào)制變換型光譜儀,又細(xì)分為:空間調(diào)制傅里葉變換微型近紅外光譜儀和時間調(diào)制傅里葉變換微型近紅外光譜儀。前者的核心元件為層狀光柵干涉儀,通過光柵空間位置的改變得到光程差序列,進(jìn)而實現(xiàn)干涉信號空間調(diào)制。后者的核心元件為邁克爾遜干涉儀,由驅(qū)動器控制反射鏡的空間運動,以獲得不同時間上的干涉調(diào)制圖,再利用單管探測器對干涉光進(jìn)行探測后再經(jīng)傅里葉變換得到光譜信號。
四、其他微型近紅外光譜儀
基于MOEMS與MEMS技術(shù)的微型近紅外光譜儀
微光機電系統(tǒng)(MOEMS)與微機電系統(tǒng)(MEMS)基于半導(dǎo)體微加工技術(shù),實現(xiàn)器件微型化,基于該技術(shù)制作的微型光譜儀體積小、測量準(zhǔn)、掃描快、低成本、高靈敏,也是近年來的研究熱點。
五、新材料微型近紅外光譜儀
除了以上幾種常見的微型近紅外光譜儀,還有一些使用新材料研制的微型光譜儀。