HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺

HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺有效避免多個(gè)潛在誤差源 的影響：

• 滾珠絲杠發(fā)熱導(dǎo)致的定位誤差

• 反向誤差

• 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差 因此，直線光柵尺是需要高定位精度和高 速加工的機(jī)床*的基礎(chǔ)性技術(shù)。

敞開(kāi)式直線光柵尺廣泛用于需要*測(cè)量 精度的機(jī)器設(shè)備。

HEIDENHAIN直線光柵尺典型應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備

• PCB電路板組裝機(jī)

• 超精密機(jī)床和設(shè)備，例如加工光學(xué)器件 的金剛石刀具，加工磁盤的端面車床和 加工鐵氧體元件的磨床

• 高精度機(jī)床

• 測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它 精密測(cè)量設(shè)備

• 直驅(qū)電機(jī)

機(jī)械結(jié)構(gòu) 敞開(kāi)式直線光柵尺包括光柵尺或鋼尺帶和 讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接觸。 敞開(kāi)式直線光柵尺的尺帶固定在安裝面 上。因此，為確保直線光柵尺的高精度， 必須確保安裝面平面度達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)。

式直線光柵尺，測(cè)量長(zhǎng)度達(dá)3 m

• 小測(cè)量步距達(dá)1 nm

• 玻璃或玻璃陶瓷測(cè)量基準(zhǔn)

• 用粘膜或安裝架固定測(cè)量基準(zhǔn)

• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用

• 可提供高真空版（參見(jiàn)“產(chǎn)品信息”資料）

測(cè)量直線軸位置，沒(méi)有任何其它機(jī)械傳動(dòng)件。有效避免多個(gè)潛在誤差源的影響：
• 滾珠絲杠發(fā)熱導(dǎo)致的定位誤差
• 反向誤差
• 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差因此，直線光柵尺是需要高定位精度和高速加工的機(jī)床*的基礎(chǔ)性技術(shù)。

HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺參考圖