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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對(duì)于大長(zhǎng)度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
? METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線；典型柵距：20 μm
? SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵；*抗污能力；典型柵距：
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺LIC 2117，LIC 2197
式直線光柵尺，測(cè)量長(zhǎng)度達(dá)3 m
• 測(cè)量步距100 nm或50 nm
• 將鋼尺帶穿入鋁殼中并在中間位置固定
• 直線光柵尺和讀數(shù)頭配套使用
增量測(cè)量法的磁柵由周期性柵線組成。通 過(guò)計(jì)算自某點(diǎn)開始的增量數(shù)（測(cè)量步距 數(shù)）獲得位置信息。由于必須用參考 點(diǎn)確定位置值，因此測(cè)量基準(zhǔn)的光柵尺上 還有一個(gè)參考點(diǎn)刻軌。在光柵尺上，由參 考點(diǎn)確定的位置是在一個(gè)信號(hào)周期分 配的。因此，必須通過(guò)掃描參考點(diǎn)建立絕 對(duì)基準(zhǔn)點(diǎn)或確定上次選擇的原點(diǎn)。
在不理想的情況下，可能需要運(yùn)動(dòng)機(jī)床 測(cè)量范圍的相當(dāng)大部分。為加快和簡(jiǎn)化 “參考點(diǎn)回零”操作，許多海德漢尺帶距 離編碼參考點(diǎn)，這些參考點(diǎn)之間彼此相距 數(shù)學(xué)算法確定的距離。因此只需運(yùn)動(dòng)數(shù)毫 米，一旦移過(guò)兩個(gè)相鄰參考點(diǎn)后，后續(xù)電 子電路就能找到參考點(diǎn)位置（見下 表）。距離編碼參考點(diǎn)的光柵尺在型號(hào)后 均帶字母“C”（例如LIF 181C）。
敞開式HEIDENHAIN直線光柵尺
對(duì)于距離編碼參考點(diǎn)，參考點(diǎn)B的位 置用兩個(gè)參考點(diǎn)間步距數(shù)和以下公式計(jì) 算：
